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原文传递离子源支承台

专利名称：	离子源支承台
摘要：	本发明提供离子源支承台，能够以稳定的状态使放置在离子源支承台(X)上的离子源(101)成为倒伏姿势。离子源支承台(X)用于放置离子源(101)，所述离子源(101)包括长条状的等离子体生成容器(10)和一对辊(31)，所述一对辊(31)设置于等离子体生成容器(10)的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁(11b)上，离子源支承台(X)包括：一对轨道(5)，在离子源(101)悬吊的状态下，可转动地放置一对辊(31)；以及牵引机构(6)，在一对辊(31)放置在一对轨道(5)上的状态下，将离子源(101)从轨道(5)的一端(A)侧向另一端(B)侧牵引。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	日新离子机器株式会社
发明人：	丹羽雄一;西村一平;小野田正敏;立道润一
专利状态：	有效
申请号：	CN201711143720.3
公开号：	CN109516106A
代理机构：	北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290
代理人：	周善来;李雪春
分类号：	B65G35/00(2006.01)I;B;B65;B65G;B65G35
申请人地址：	日本京都府
主权项：	1.一种离子源支承台，其放置离子源，所述离子源包括长条状的等离子体生成容器和一对辊，所述一对辊设置在所述等离子体生成容器的在与长边方向垂直的方向上相对的侧壁上，所述离子源支承台的特征在于，所述离子源支承台包括：一对轨道，在所述离子源悬吊的状态下，可转动地放置所述一对辊；以及牵引机构，在所述一对辊放置在所述一对轨道上的状态下，将所述离子源从所述轨道的一端侧向另一端侧牵引。
所属类别：	发明专利