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原文传递 用于检测水中有机物含量的微纳传感器
专利名称: 用于检测水中有机物含量的微纳传感器
摘要: 提供一种用于检测水中有机物含量的微纳传感器,其玻璃基片(5)上铂电极引线(12)末端段设置银/氯化银电极层(2);玻璃基片(5)上面键合覆盖硅基片(1);硅基片(1)设置有向下开口形成储液腔(7),储液腔(7)顶壁设置形成锥形微孔(3)阵列,作为与外界待测物离子交换的纳米通道;玻璃基片(5)设置有与储液腔(7)相通的注液孔(14),并配置导电密封胶(8),铂电极引线(12)由导电密封胶(8)下端引出,储液腔(7)中储存有经注液孔(14)注入的氯化钾饱和溶液;硅基片(1)上面在锥形微孔(3)阵旁设置PbO2工作电极(4)与铂金对电极(9);实现检测传感器的微型化,微孔(3)阵列使离子交换速率大大降低,显著提高微纳传感器的使用寿命。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 浙江;33
申请人: 宁波大学
发明人: 金庆辉;张赞;尹加文;金涵;简家文
专利状态: 有效
申请号: CN201820994896.3
公开号: CN208672562U
代理机构: 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226
代理人: 陈其明
分类号: G01N27/30(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27
申请人地址: 315211 浙江省宁波市江北区风华路818号
主权项: 1.一种用于检测水中有机物含量的微纳传感器,包括可与硅片键合的Pyrex 7740玻璃基片(5),其特征在于,所述玻璃基片(5)上表面设置有铂电极引线(12),在铂电极引线(12)末端段的上表面设置有银/氯化银参比电极层(2);玻璃基片(5)上面以与其键合的方式覆盖有表面为(100)晶面、双面抛光并氧化的硅基片(1),二者键合形成一体;所述硅基片(1)设置至少包容所述银/氯化银参比电极层(2)的向下开口腔,该开口腔与所述玻璃基片(5)形成用于储存氯化钾饱和溶液的储液腔(7),储液腔(7)顶壁设置采用湿法腐蚀刻蚀出的多个外壁孔径大内壁孔径小的纳米级锥形微孔(3),形成锥形微孔(3)阵列,每个锥形微孔(3)作为与外界待测物相接触进行双方离子交换的纳米通道;所述玻璃基片(5)设置有与所述储液腔(7)相通的注液孔(14),并配置有用于封装所述注液孔(14)的导电密封胶(8),所述铂电极引线(12)与导电密封胶(8)接触连接,由导电密封胶(8)下端引出,所述储液腔(7)中储存有经注液孔(14)注入的氯化钾饱和溶液;所述硅基片(1)上面在所述锥形微孔(3)阵旁设置PbO2工作电极(4)与铂金对电极(9)。
所属类别: 实用新型
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