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原文传递一种激光定域辐照加热装置

专利名称：	一种激光定域辐照加热装置
摘要：	本发明公开了一种激光定域辐照加热装置，其基于扫描电镜预留法兰接口设置，包括设置于扫描电镜真空腔体外部的光纤激光器、设置于真空腔体内的用于对光纤激光器输出的激光线路调整的光路调整装置、用于将激光聚焦至被测工件特定区域的激光聚焦镜，光路调整装置包括支架、下反射镜、上反射镜。通过该装置可实现样品表面的微小局部加热，一方面避免了整体加热导致的真空腔内所有物体包括元件温度随之全部升高，影像设备寿命，另一方面通过该装置可实现时时研究物质在非平衡情况下的动态变化，实现高温下物质结构动态变化的在线电子显微镜观察，从而为材料科学研究提供新的技术手段。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京市理化分析测试中心
发明人：	邓平晔;邹涛;杨颖;汪雨
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201910404221.8
公开号：	CN110068587A
代理机构：	北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	陈娟
分类号：	G01N23/22(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	100089 北京市海淀区西三环北路27号
主权项：	1.一种激光定域辐照加热装置，其特征在于，所述激光定域辐照加热装置基于扫描电镜预留法兰接口设置，包括设置于扫描电镜真空腔体外部的光纤激光器、设置于真空腔体内的用于对光纤激光器输出的激光线路进行调整的光路调整装置、用于将激光聚焦至被测工件特定区域的激光聚焦镜，其中，所述光路调整装置包括支架、设置于支架上的且对应激光入射方向设置的下反射镜、设置于支架上的且对应下反射镜激光反射方向设置的上反射镜，上反射镜反射后激光投射到激光聚焦镜上。 2.根据权利要求1所述的激光定域辐照加热装置，其特征在于，所述下反射镜和上反射镜分别设置于第一固定座上，所述第一固定座通过设置有腰型孔的第一连接板上与支架连接，第一连接板通过腰型孔和紧固件配合连接至支架上。 3.根据权利要求2所述的激光定域辐照加热装置，其特征在于，所述激光聚焦镜设置于第二固定座上，所述第二固定座通过设置有腰型孔的第二连接板上与支架连接，第二连接板通过腰型孔和紧固件配合连接至支架上。 4.根据权利要求1所述的激光定域辐照加热装置，其特征在于，扫描电镜预留法兰接口上设置玻璃窗口密封法兰。 5.根据权利要求4所述的激光定域辐照加热装置，其特征在于，对应玻璃窗口密封法兰设置有固定台，所述固定台通过角板与扫描电镜连接，固定台上设置有光纤激光器和用于监控被测工件加热区域的红外成像镜头。 6.根据权利要求5所述的激光定域辐照加热装置，其特征在于，对应光纤激光器和红外成像镜头分别设置有外45度反射镜。
所属类别：	发明专利