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原文传递多功能样品台

专利名称：	多功能样品台
摘要：	本实用新型公开了一种多功能样品台，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。本实用新型的多功能样品台可以应用于现有的FIB和TEM系统中，同时还可以实现样品的原子位FIB剥层，纳米探针电测试和TEM分析三步失效分析工艺的有效集成。即在整个失效分析的流程中，不需要样品转移，因此，本实用新型的多功能样品台可以提高整个失效分析流程的成功率和效率，避免和减少样品在失效分析工作中的破损，丢失和污染。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	胜科纳米(苏州)有限公司
发明人：	刘兵海;华佑南;傅超;李晓旻
专利状态：	有效
申请日期：	2018-09-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201821600111.6
公开号：	CN209182269U
代理机构：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	朱琳
分类号：	G01N23/2204(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507
主权项：	1.一种多功能样品台，其特征在于，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。 2.如权利要求1所述的多功能样品台，其特征在于，所述样品台本体的直径为2-5mm，厚度为80-120μm。 3.如权利要求1所述的多功能样品台，其特征在于，所述样品台本体上设置有纳米级电路。 4.如权利要求1所述的多功能样品台，其特征在于，还包括用于承载所述样品台本体的夹套。 5.如权利要求4所述的多功能样品台，其特征在于，所述夹套包括：底座、位于所述底座上的支撑座以及设置在所述支撑座一侧的限位板，其中，所述支撑座上开设有与所述样品台本体的弧面相匹配的弧形槽，所述限位板的位置与所述弧形槽对应且所述限位板与所述支撑座之间通过螺栓连接。 6.如权利要求4所述的多功能样品台，其特征在于，所述夹套采用非磁金属材料制成。 7.如权利要求4所述的多功能样品台，其特征在于，还包括用于承载所述夹套的双向台。 8.如权利要求7所述的多功能样品台，其特征在于，所述双向台包括：基座、开设在所述基座上且形状与夹套相匹配的容纳槽以及分设于所述容纳槽两侧的侧壁上的调节螺栓，并且，所述容纳槽的其中一个侧壁高度低于所述夹套中样品的高度。 9.如权利要求8所述的多功能样品台，其特征在于，所述基座的两端还设置有用于与外部固接连接的固定螺栓。 10.如权利要求7所述的多功能样品台，其特征在于，所述双向台采用非磁金属材料制成。
所属类别：	实用新型