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原文传递反射式激光束线痕检测机构

专利名称：	反射式激光束线痕检测机构
摘要：	本实用新型公开了一种反射式激光束线痕检测机构，涉及硅片线痕检测技术领域，包括底座、外壳、底板、相机、相机安装板、激光发射器、激光器支架、检测传感器、传感器支架；所述底座上设置有两块底板；所述每块底板上均设置有多个用于固定底板的底板固定孔；所述每块底板上均安装有相机安装板、激光器支架和激光反射板。本实用新型的检测机构通过在激光路径上设置的激光反射板将激光反射到待检硅片上，使得照射到待检硅片上的激光强度稳定均匀，解决了线痕检测图像不清晰的技术问题。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州诚拓机械设备有限公司
发明人：	姜明
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201821876236.1
公开号：	CN209215245U
代理机构：	北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	汤东凤
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇木胥东路25号工业园E6幢
主权项：	1.一种反射式激光束线痕检测机构，包括底座(10)、外壳(20)、底板(30)、相机(40)、相机安装板(41)、激光发射器(50)、激光器支架(51)、检测传感器(70)、传感器支架(71)；其特征在于：所述底座(10)上设置有两块底板(30)；所述每块底板(30)上均设置有多个用于固定底板(30)的底板固定孔(31)；所述每块底板(30)上均安装有相机安装板(41)、激光器支架(51)和用于反射激光的激光反射板(60)；所述相机(40)安装在相机安装板(41)上；所述激光发射器(50)安装在激光器支架(51)上；所述传感器支架(71)安装在底座(10)上；所述检测传感器(70)安装在传感器支架(71)上。 2.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述底板(30)通过螺钉固定在底座(10)上。 3.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述相机(40)为CCD相机。 4.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述相机安装板(41)和激光器支架(51)通过螺钉固定在底板(30)上。 5.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述激光反射板(60)是L形的塑胶材料板。 6.根据权利要求5所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述激光反射板(60)水平部分上设置有三个反射板固定孔(61)；所述激光反射板(60)通过螺钉安装在底板(30)上。 7.根据权利要求1所述的一种反射式激光束线痕检测机构，其特征在于：所述检测传感器(70)是一种光电传感器。
所属类别：	实用新型