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原文传递用于测试多个传感器装置的方法、用于该方法中的板和通过该方法生产的传感器部件

专利名称：	用于测试多个传感器装置的方法、用于该方法中的板和通过该方法生产的传感器部件
摘要：	本发明涉及用于测试多个传感器装置的方法、用于该方法中的板和通过该方法生产的传感器部件。多个传感器装置包括加热传感器元件的加热元件。所述传感器装置附接到板（200）上的连接垫（212、213、215、216）。供电电压（VIN）施加到所有传感器装置，以同时发生地将加热元件和传感器元件加热到升高的温度。该过程在测试气体气氛中等待预定量的时间，直到所述传感器装置达到平衡状态。然后，所述传感器装置可以一个接在另一个之后地进行校准。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	TDK株式会社
发明人：	M.克尼希
专利状态：	有效
申请日期：	2019-01-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201910092258.1
公开号：	CN110118804A
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	张一舟;李雪莹
分类号：	G01N27/02(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种用于测试多个传感器装置的方法，所述方法包括：提供多个传感器装置（100、301、302、303），每个传感器装置包括构造成感测环境条件的传感器元件（111）、加热所述传感器元件的加热元件（114）、用于供电电压的连接端子（121、122）以及用于指示所述传感器元件的状态的感测信号的至少一个连接端子（123a、123b）；提供板（200），所述板包括多个组（210a、210b、210c）的连接垫，所述组中的每一组的连接垫构造成连接到所述传感器装置中的一个的所述连接端子；将所述传感器装置安装到所述组的连接垫；将供电电压（VIN）施加到所述传感器装置，并且同时发生地将所述传感器装置的所述加热元件（114）加热到升高的温度；至少一个接在另一个之后地校准所述传感器装置。 2.根据权利要求1所述的方法，其中，向所述传感器装置提供供电电压的步骤（504）之后是使所述传感器装置经受测试气体气氛的步骤（506）。 3.根据权利要求2所述的方法，其中，使所述传感器装置经受测试气体气氛的步骤还包括等待预定量的时间，直到所述传感器装置的所述传感器元件达到平衡状态（507）。 4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，校准（508）所述传感器装置的步骤包括从所述传感器装置中的一个的传感器元件接收相应的信号，将所述信号与预定值进行比较，并且将校正值存储在设置在所述传感器装置中的一个中的相应存储器中。 5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述预定值指示所述测试气体气氛的浓度，并且所述校正值设置成使得来自所述传感器元件的所述信号与所述校正值的组合指示所述测试气体气氛的浓度。 6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，校准的步骤之后是切割所述板的步骤（509），以获得传感器装置和切割的板块的多个分开的组合物（400），以及对所述传感器装置执行功能测试的步骤。 7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，提供多个传感器装置的步骤包括提供如下传感器装置，即所述传感器装置构造成响应于所述供电电压的施加而自动地加热所述加热元件。 8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其中，提供多个传感器装置的步骤包括提供如下传感器装置，即所述传感器装置的所述传感器元件（111）由来自包括二氧化锡、氧化铟、氧化镓和氧化钌的组中的金属氧化物制成，并且所述传感器装置的所述加热元件由来自包括钨、铂和钯的组中的金属制成。 9.一种用于如权利要求1至8中任一项所述的方法中的板装置，包括：衬底（200）；多个组（210a、210b、210c）的连接垫，所述连接垫（212、213、215、216）构造成连接到传感器装置的相应的连接端子（121、122、123a、123b）；用于供电电位（VIN）的导线（221），所述导线连接到所述组的连接垫中的每一组中的相应连接垫；用于接地电位（GND）的另一导线（222），所述另一导线连接到所述组的连接垫中的每一组中的另一相应连接垫。 10.根据权利要求9所述的板装置，其中，所述多个组的连接垫设置在所述衬底上的一排（230）中，并且多个组的连接垫的至少一个附加排（231、232）与其平行设置。 11.根据权利要求9或10所述的板装置，还包括多个传感器装置中的设置在所述连接垫上的传感器装置，其中，所述传感器装置中的一个的连接端子（121、122、123a、123b）连接到所述组（210a）的连接垫中相应的一个的所述连接垫（212、213、215、216），使得用于所述传感器装置的供电电压的连接端子中的一个通过用于供电电压电位（VIN）的所述导线（221）电联接在一起，并且用于所述传感器装置的供电电压的连接端子中的另一个通过用于所述接地电位（GND）的另一个导线（222）电联接在一起。 12.根据权利要求9至11中任一项所述的板装置，其中，所述衬底（200）包括陶瓷材料，所述陶瓷材料包括一层或多层金属，所述一层或多层金属包括用于所述供电电位的所述导线（221）、用于所述接地电位的所述导线（222）和所述多个组的连接垫。 13.通过根据权利要求6所述的方法实现的传感器部件，所述传感器部件（400）包括切割的板块，所述切割的板块包括通过切割过程获得的侧壁部分（401、402），其中，所述侧壁部分中的一个侧壁部分（401）包括连接到连接垫中的一个连接垫（216）的导线部分（416），并且所述侧壁部分中的另一个侧壁部分（402）包括连接到连接垫中的另一个连接垫（215）的导线部分（415）。 14.根据权利要求13所述的传感器部件，其特征在于，所述侧壁部分中的一个侧壁部分（401）和所述侧壁部分中的另一个侧壁部分（402）设置在所述板块的相对端上。
所属类别：	发明专利