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原文传递一种砷烷气体吸收过滤系统

专利名称：	一种砷烷气体吸收过滤系统
摘要：	本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种砷烷气体吸收过滤系统。该砷烷气体吸收过滤系统包括电解槽、气体过滤装置和手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽通过第一输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。本实用新型提供的砷烷气体吸收过滤系统，将电解槽设置于手套箱中，手套箱通过第二输送管路与气体过滤装置相连，即使电解槽存在泄漏，所泄漏的砷烷气体也能够通过第二输送管路输送至气体过滤装置，最终被气体过滤装置吸收，从而有效避免砷烷气体外泄，更加安全、可靠的吸收和过滤砷烷气体。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	东泰高科装备科技有限公司
发明人：	刘文杰;赵青松
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201821767909.X
公开号：	CN209247731U
代理机构：	北京路浩知识产权代理有限公司
代理人：	王莹;吴欢燕
分类号：	G01N33/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N33
申请人地址：	102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
主权项：	1.一种砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：包括电解槽、气体过滤装置以及手套箱，所述电解槽设置于所述手套箱中，所述电解槽的出气口与第一输送管路的一端相连，所述第一输送管路的另一端穿过所述手套箱与所述气体过滤装置的进气口相连，所述手套箱通过第二输送管路与所述气体过滤装置的进气口相连。 2.根据权利要求1所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：还包括通风橱，所述手套箱和所述气体过滤装置均设置于所述通风橱中，所述气体过滤装置的出气口与第三输送管路的一端相连，所述第三输送管路的另一端穿过所述通风橱设置于所述通风橱外部。 3.根据权利要求2所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：还包括设置于所述通风橱中的砷烷气体检测器，所述第一输送管路设有第一检测口，所述第一检测口通过第一检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。 4.根据权利要求3所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：所述手套箱设有第二检测口，所述第二检测口通过第二检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。 5.根据权利要求3所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：位于所述通风橱中的所述第三输送管路设有第三检测口，所述第三检测口通过第三检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。 6.根据权利要求3所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：所述通风橱中设有第四检测口，所述第四检测口通过第四检测管路与所述砷烷气体检测器的进气口相连。 7.根据权利要求3所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：所述砷烷气体检测器的出气口通过第四输送管路与所述第一输送管路相连。 8.根据权利要求2所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：所述第一输送管路上设有第一单向阀，所述第二输送管路上分别设有第一风机和第二单向阀，所述第三输送管路上设有第二风机。 9.根据权利要求2所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：所述气体过滤装置的进气口与稀释空气输送管路的一端相连，所述稀释空气输送管路的另一端穿过所述通风橱设置于所述通风橱外部。 10.根据权利要求2所述的砷烷气体吸收过滤系统，其特征在于：所述电解槽的进气口与第一氮气管路相连，所述第一氮气管路依次穿过所述手套箱、所述通风橱与氮气源相连；所述手套箱设有氮气入口，所述氮气入口与第二氮气管路相连，所述第二氮气管路穿过所述通风橱与所述氮气源相连。
所属类别：	实用新型