专利名称: |
可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 |
摘要: |
本发明公开了一种可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备,具体包括安装板,多个间隔设置在安装板底部的吊爪,每个所述石墨舟上设有配合相邻两个吊爪进行固定的吊装位。本发明通过设置多个吊爪,实现了自动化单次对两个石墨舟或多石墨舟的同步吊装,成倍提高对石墨舟自动化吊装的效率,大大减小石墨舟在各工艺段吊装过程中时间,提高了太阳能电池片整体生产效率。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
广东;44 |
申请人: |
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
发明人: |
邓金生;周宏业;黎佐兴;李时俊 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2019-06-04T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-08-13T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201910482862.5 |
公开号: |
CN110116962A |
代理机构: |
深圳市康弘知识产权代理有限公司 |
代理人: |
尹彦;胡朝阳 |
分类号: |
B66C1/22(2006.01);B;B66;B66C;B66C1 |
申请人地址: |
518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号 |
主权项: |
1.一种石墨舟吊装结构,其特征在于,包括安装板(2),多个间隔设置在安装板底部的吊爪(1),每个所述石墨舟(3)上设有配合相邻两个吊爪(1)进行固定的吊装位。 2.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构,其特征在于,所述吊装位为贯穿石墨舟两侧的凹槽(31),所述吊爪上的爪钩部(11)可随安装板移动插入所述凹槽内。 3.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构,其特征在于,所述吊爪(1)包括气缸和通过电缸带动对应吊装位的顶紧件。 4.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构,其特征在于,所述吊爪(1)包括电缸和通过电缸带动对应吊装位的顶紧件。 5.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构,其特征在于,所述吊爪(1)包括通过电机带动丝杆和通过丝杆带动对应吊装位的顶紧件。 6.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构,其特征在于,所述安装板(2)的底部设有滑槽,所述吊爪可通过电机驱动沿滑槽移动。 7.一种可吊装多个石墨舟的PECVD设备,其特征在于,使用权利要求1至6任一项所述的石墨舟吊装结构。 |
所属类别: |
发明专利 |