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原文传递一种Al/Ag层状纳米结构的大面积SERS基底、制备方法及应用

专利名称：	一种Al/Ag层状纳米结构的大面积SERS基底、制备方法及应用
摘要：	本发明提出了一种Al/Ag层状纳米结构的大面积SERS基底、制备方法及应用，通过该发明可以制备大面积的、具有高密度热点的大面积SERS基底。以单晶硅片作为基板，超声清洗干净后作烘干处理，利用真空蒸镀技术在上述单晶硅片表面构建均匀的云状铝纳米结构，为贵金属纳米颗粒的沉积提供大量位点，然后通过激光分子束外延技术在上述铝纳米层的表面沉积Ag纳米粒子。经测量，通过该发明制备的SERS基底对R6G的检测极限可达10‑9M。这种基底灵敏度高，重现性好，制备过程简单，可将其应用于对三聚氰胺的直接检测，对三聚氰胺的最低检测极限可达10‑7M，检测速度快，检测结果准确，可以克服传统三聚氰胺检测方法检测周期长，检测过程复杂的不足，具有广阔的应用前景。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	山东;37
申请人：	聊城大学
发明人：	李和福;赵楠;于会山;王文军
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201910480135.5
公开号：	CN110132936A
代理机构：	青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	李浩成
分类号：	G01N21/65(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	252059 山东省聊城市东昌府区湖南路1号
主权项：	1.一种Al/Ag 层状纳米结构的大面积SERS基底，其特征在于，主要由基板、Al纳米层和Ag纳米层组成，所述Al纳米层均匀地分布在基板的表面，所述Ag纳米层被修饰在Al纳米层的表面。 2.根据权利要求1 所述的大面积SERS基底，其特征在于，所述基板为单晶硅片，规格为5cm×5cm，厚度为520μm。 3.根据权利要求1或2所述的一种Al/Ag 层状纳米结构的大面积SERS基底的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将基板进行超声清洗后作烘干处理；（2）利用真空蒸镀方法在所述基板表面构建均匀的云状铝纳米结构；每片“云”的直径为64nm，厚度为180-300nm；（3）通过激光分子束外延方法在步骤（2）所得Al纳米层的表面沉积Ag纳米粒子，所述Ag纳米层呈颗粒状生长在云状Al纳米结构的表面以及云状纳米结构之间的空隙中。 4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）的具体步骤为：将烘干后的基板用真空胶带粘于真空蒸镀设备的基片台上，放入真空腔内，抽真空至1.0×10-4Pa，对钨丝缓慢加电流至50A进行蒸镀，当膜厚检测仪显示膜的厚度为200nm时，停止蒸镀，蒸镀结束后继续抽真空1h，防止蒸镀的铝纳米层遇空气氧化。 5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤（3）的具体步骤为：将步骤（2）中得到的样品用真空胶带粘于激光分子束外延系统（LMBE）的样品台上，经系统的送样室将样品送入系统外延室的基片台上，调整基片台与银靶材的距离至8cm，抽真空至外延室的气压为2.0×10-4Pa；打开准分子激光器，开始沉积Ag纳米颗粒，控制沉积时间，其中激光波长为248nm，激光功率为110mJ，频率为5HZ；沉积结束后，继续抽真空1h。 6.权利要求1或2所述一种Al/Ag 层状纳米结构的大面积SERS基底在检测三聚氰胺方面的应用。 7.一种采用所述Al/Ag 层状纳米结构的大面积SERS基底检测三聚氰胺的方法，其特征在于，具体步骤如下：用移液枪抽取体积为5ul的一定浓度的三聚氰胺溶液，滴于基底的表面，待基底表面的液滴自然晾干后直接放在拉曼光谱仪下进行检测。
所属类别：	发明专利