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原文传递一种用于片状物的搬运装置

专利名称：	一种用于片状物的搬运装置
摘要：	本实用新型公开了一种用于片状物的搬运装置，包括一吸盘，所述吸盘的吸附面上设有多个突起的软性触点，所述触点用于在所述吸盘吸附片状物时接触片状物表面，防止在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生漂移。本实用新型可以精准地进行点对点的搬运工作，能够增加搬运机构的搬运精度，且在搬运时不需要对晶圆中心进行定位，对于高精度的搬运目的也能更好地应对。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海福赛特机器人有限公司
发明人：	管奕霖
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201822241845.6
公开号：	CN209321999U
代理机构：	上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	陶金龙;张磊
分类号：	B65G47/91(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	200233 上海市徐汇区虹梅路1801号A区凯科国际大厦305-308室
主权项：	1.一种用于片状物的搬运装置，其特征在于，包括一吸盘，所述吸盘的吸附面上设有多个突起的软性触点，所述触点用于在所述吸盘吸附片状物时接触片状物表面，防止在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生漂移。 2.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述触点均匀设于所述吸盘吸附面的外周上。 3.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述触点为三个，以120°夹角均匀设于所述吸盘吸附面的外周上。 4.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述触点为软性橡胶触点。 5.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述吸盘为伯努利式吸盘。 6.根据权利要求5所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述伯努利式吸盘的吸附面上设有气隙，用于在吸附片状物时，在所述吸盘的吸附面与片状物之间产生低压气流。 7.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，还包括机器人连接手臂，所述吸盘设于机器人连接手臂末端，所述机器人连接手臂连接机器人。 8.根据权利要求7所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，还包括OCR识别器，设于所述吸盘附近的所述机器人连接手臂上。 9.根据权利要求7所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，还包括片状物位置检测器，设于所述吸盘附近的所述机器人连接手臂上。 10.根据权利要求1所述的用于片状物的搬运装置，其特征在于，所述片状物为晶圆。
所属类别：	实用新型