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基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法
| 专利名称： | 基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法 |
| 摘要： | 基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法，该方法首先将待测样品置于一个腔体内，用抽气泵将腔体内气体抽至真空；然后向真空腔内通入混合气体，当腔体内压力达到一个大气压，记录混合气体的组成比例；在该气体环境下，检测待测样品的激光诱导击穿光谱信号，并计算信号的相对标准偏差，作为重复性的指标；之后不断改变混合气体的比例进行检测，计算对应的相对标准偏差；比较各种混合气体环境下光谱信号的相对标准偏差，得到最优的混合气体组成比例，作为待测样品的气体环境。本发明可显著降低光谱信号的相对标准偏差，提高激光诱导击穿光谱的重复性，进而提高LIBS的测量精度。具有简单实用、经济实惠等特点。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 清华大学 |
| 发明人： | 王哲;俞建龙;侯宗余;李天奇;李政;顾炜伦;刘家岑 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-05-31T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-08-16T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910467429.4 |
| 公开号： | CN110132943A |
| 代理机构： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 邸更岩 |
| 分类号： | G01N21/71(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室 |
| 主权项： | 1.一种基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法，其特征在于该方法包括如下步骤： 1)将待测样品置于一个腔体内，密封腔体； 2)利用抽气泵抽吸腔体内气体；当腔体内的压力达到真空状态时，停止抽气； 3)向抽完气的真空腔体内通入混合气体；该混合气体由惰性气体、空气、氮气和二氧化碳中的至少两种组成；记录几种混合气体的组成比例；在通入混合气体的过程中，当腔体内的压力达到一个大气压时，停止通气，使待测样品处于该混合气体环境下； 4)在该混合气体环境下，使用激光诱导等离子光谱系统对待测样品进行检测，得到待测样品的激光诱导击穿光谱信号，并计算信号的相对标准偏差RSD1，作为重复性的指标： 其中，σI表示该混合气体环境下光谱信号的标准偏差，表示该混合气体环境下光谱信号的平均值； 5)不断改变混合气体中几种气体的组成比例，重复步骤2)-4)，在新的混合气体环境下，检测待测样品，得到对应的光谱信号，计算对应的相对标准偏差RSDi； 6)比较各种混合气体环境下样品光谱信号的相对标准偏差，找出最小值；将这个最小值对应的组成比例作为最优比例，采用该气体环境对样品进行检测，从而提高激光诱导击穿光谱的重复性。 2.如权利要求1所述的一种基于混合气体环境提高激光诱导击穿光谱重复性的方法，其特征在于，步骤5)中所述的不断改变混合气体中几种气体组成比例的方法为：按梯度进行变化，即选取一个大于等于5的正整数n，以为变化梯度，逐渐改变混合气体的组成比例。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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