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原文传递 一种片状粉末断面样品的制备方法
专利名称: 一种片状粉末断面样品的制备方法
摘要: 本发明提供了一种片状粉末的断面样品的制备方法,包括:将导电胶液滴加在基片表面;将片状粉末分散在导电胶液中;将导电胶液进行干燥,得到第一胶块;将基片垂直竖立于平整的平台上,将第一胶块设置于基片底部;将导电胶液滴加在第一胶块上,待导电胶液与第一胶块融合后进行干燥,得到第二胶块;采用离子抛光对第二胶块的下表面进行抛光,得到片状粉末的断面样品。本发明提供的方法制备得到的断面样品中大部分二维片状粉末都能够垂直于离子束切割的方向,在后期的观察中有大量的符合要求的可观察区域;另外本发明采用导电胶液进行制样,样品具有较好的导电性,有利于后期的高倍观察。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 浙江;33
申请人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
发明人: 蒋蓉蓉;姚懿容;李明;卢焕明;李勇
专利状态: 有效
申请日期: 2018-02-22T00:00:00+0800
发布日期: 2019-08-30T00:00:00+0800
申请号: CN201810153747.9
公开号: CN110186738A
代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
代理人: 赵青朵
分类号: G01N1/32(2006.01);G;G01;G01N;G01N1
申请人地址: 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
主权项: 1.一种片状粉末断面样品的制备方法,包括: 将导电胶液滴加在基片表面; 将片状粉末分散在导电胶液中; 将导电胶液进行干燥,得到第一胶块; 将基片垂直竖立于平整的平台上,将第一胶块设置于基片底部; 将导电胶液滴加在第一胶块上,待导电胶液与第一胶块融合后进行干燥,得到第二胶块; 采用离子抛光对第二胶块的下表面进行抛光,得到片状粉末的断面样品。 2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述片状粉末的长度为1~1000微米;所述片状粉末的宽度为1~1000微米;所述片状粉末的厚度为10~10000nm。 3.根据权利要求要求2所述的方法,其特征在于,所述片状粉末的长度为10~100微米,所述片状粉末的宽度为10~100微米,所述片状粉末的厚度为10~100纳米。 4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述导电胶液为银导电胶液或碳导电胶液。 5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述基片为硅片。 6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述干燥的方法为采用红外灯烘烤或在烘箱中干燥。 7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述抛光之前还包括: 将基片在垂直平面内旋转180°,使第二胶块位于基片顶部, 采用离子抛光对第二胶块的上表面进行抛光,得到片状粉末的断面样品。
所属类别: 发明专利
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