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原文传递宽域式氧传感器的激光调阻标定方法

专利名称：	宽域式氧传感器的激光调阻标定方法
摘要：	本发明公开了宽域式氧传感器的激光调阻标定方法，首先配置不同氧含量的气体，然后进行信号采集，通过比较标准样和测试样的电流信号，来调节匹配电阻，通过激光器进行调阻工作，同时采集电流，直至被测传感器电流值与基准值一致时或在一定误差范围内，PLC控制激光器停止工作。本发明的有益效果是，通过将测试样与标准样放在相同的氧浓度环境下，然后检测标准样的电流强度，并以其为标准值，通过激光器对标准样的电阻进行激光调阻，同步实时监测测试样的电流强度，直到测试样的电流强度与标准样的电流强度相同或误差范围以内，即可高效精准的标定该测试样的电阻值。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	莱鼎电子材料科技有限公司
发明人：	黄海琴;朱银涛;陈圣龙;倪红军;吕帅帅;陶建兵;朱卫兵
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-20T00:00:00+0800
申请号：	CN201910464717.4
公开号：	CN110146573A
代理机构：	成都明涛智创专利代理有限公司
代理人：	丁国勇
分类号：	G01N27/41(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	226500 江苏省南通市如皋市城南街道海阳南路6号
主权项：	1.宽域式氧传感器的激光调阻标定方法，其特征在于，包含以下步骤： a、配置不同氧含量的气体； b、测试样与标准样同气体环境检测； c、分别采集测试样与标准样数据并对比； d、对测试样电阻片进行激光调阻； e、电阻片气体冷却； f、再次将两者数据对比并重复步骤d、e，直至测试样与标准样数据差值小于预设值； g、激光器停止工作。 2.根据权利要求1所述的宽域式氧传感器的激光调阻标定方法，其特征在于，在步骤a中，采用包括空气在内的三种气体作为配置不同氧含量气体的原料气，且气体含量的调定由流量计进行配置并在混合腔中混合。 3.根据权利要求2所述的宽域式氧传感器的激光调阻标定方法，其特征在于，三种原料气优选为N2、空气、H2。 4.根据权利要求1所述的宽域式氧传感器的激光调阻标定方法，其特征在于，在步骤b中，测试样与标准样均放置于同一个气体环境的工作腔中，所述工作腔与所述混合腔导通。 5.根据权利要求1所述的宽域式氧传感器的激光调阻标定方法，其特征在于，在步骤c中，标准样氧传感器的电流信号通过控制器一采集，测试样的电路上设置有用于为氧传感器分担一部分泵电流的厚膜电阻片，测试样氧传感器的电流信号通过控制器二采集，然后将采集的两个电流信号进行对比。 6.根据权利要求1所述的宽域式氧传感器的激光调阻标定方法，其特征在于，在步骤d中，将两个电流强度的差值与预设的最大允许误差值进行对比，若两电流差值大于误差值，则驱动激光器，对所述厚膜电阻片进行激光调阻。 7.根据权利要求1所述的宽域式氧传感器的激光调阻标定方法，其特征在于，在步骤e中，为了确保厚膜电阻片的阻值不会因激光升温而造成较大误差，在一定量激光调阻之后需要对厚膜电阻片进行气体降温。 8.根据权利要求1所述的宽域式氧传感器的激光调阻标定方法，其特征在于，步骤a-g为在一种含氧气体浓度下的标定过程，为了判定氧传感器标定的准确度，重新驱动两个氧传感器，在不同含氧浓度下再次进行对比。
所属类别：	发明专利