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原文传递一种真空进样装置

专利名称：	一种真空进样装置
摘要：	本实用新型公开一种真空进样装置，其包括工作腔室、XY二维运动平台、过渡舱室和举靶机构四部分。该真空进样装置，采用了独立的Z方向电机进行举靶，不会增加XY电机的负载，大大降低了丝杠的磨损，也不会对平台产生任何绕动力矩，从而长久保证了平台水平方向的位置精度；通过双O圈密封或波纹管密封设计，以保证举靶支杆与工作腔室的真空隔离密封。不仅结构简单、装配维护容易，而且通过对电机的程控，非常方便调整靶托的水平高度，调整密封效果。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	厦门元谱生物科技有限公司
发明人：	何坚
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201821901705.0
公开号：	CN209296748U
代理机构：	北京高沃律师事务所
代理人：	王海燕
分类号：	G01N35/10(2006.01);G;G01;G01N;G01N35
申请人地址：	361000 福建省厦门市湖里区嘉禾路398号515室
主权项：	1.一种真空进样装置，其特征在于：包括工作腔室、XY二维运动平台、过渡舱室和举靶机构，所述工作腔室的腔室盖板上分别开设有与真空设备连接的工作腔室开口、与检测设备连接的检测区开口和用于样品更换出入口的进样口；所述工作腔室内包括有所述过渡舱室，且所述进样口处设置有过渡舱室盖板；设置于所述工作腔室内的所述XY二维运动平台包括X方向平台和Y方向平台，所述Y方向平台安装在位于所述工作腔室内底部的Y轴驱动机构上，所述X方向平台通过X轴驱动机构安装在所述Y方向平台的顶部；所述举靶机构包括靶托和Z轴驱动机构，所述X方向平台上设置有若干个支撑螺柱，装有样品靶板的所述靶托放置在若干个所述支撑螺柱上，与所述靶托相配合的所述Y轴驱动机构竖直穿设在所述工作腔室内。 2.根据权利要求1所述的真空进样装置，其特征在于：所述Y轴驱动机构包括Y轴电机、两条Y方向导轨和Y方向丝杠，两侧分别通过滑块滑动设置在两条所述Y方向导轨上的所述Y方向平台的底端通过Y轴丝杠螺母与所述Y方向丝杠连接，所述Y轴电机用于驱动所述Y方向丝杠运动。 3.根据权利要求2所述的真空进样装置，其特征在于：所述X轴驱动机构包括X轴电机、两条X方向导轨和X方向丝杠，所述X方向平台和Y方向平台的正中开有凹槽缺口，所述Y方向平台为L型，两条所述X方向导轨分别安装在L型的所述Y方向平台的竖直顶部并位于所述凹槽缺口两侧，所述X方向平台的一端通过滑块滑动设置于所述X方向导轨内，另一端的底部通过X轴丝杠螺母与所述X方向丝杠连接，所述X轴电机用于驱动所述X方向丝杠运动。 4.根据权利要求1所述的真空进样装置，其特征在于：所述Z轴驱动机构包括Z轴电机和靶托支柱，所述靶托支柱与所述Z轴电机的电机转轴通过螺纹连接。 5.根据权利要求4所述的真空进样装置，其特征在于：所述靶托支柱与所述工作腔室的密封采用双O型圈密封或波纹管密封。 6.根据权利要求5所述的真空进样装置，其特征在于：所述双O型圈的顶端和底端分别设置有O型圈压块和O型圈压紧螺母。 7.根据权利要求4所述的真空进样装置，其特征在于：所述X方向平台和Y方向平台的正中开有凹槽缺口，所述靶托支柱能够穿过所述凹槽缺口并对准所述靶托的中心。 8.根据权利要求4所述的真空进样装置，其特征在于：所述靶托的下表面正中心设置有定位槽，所述靶托支柱的顶部设置有凸顶，所述凸顶与所述定位槽相配合。 9.根据权利要求1所述的真空进样装置，其特征在于：所述进样口的外围设置有密封槽，所述密封槽中安装有O型密封圈，所述进样口、样品靶托和所述过渡舱室盖板形成所述过渡舱室；所述过渡舱室的侧面开设有一导气孔，所述导气孔与真空阀门和低真空泵连接。 10.根据权利要求1所述的真空进样装置，其特征在于：所述支撑螺柱的高度可调节。
所属类别：	实用新型