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原文传递异物检测装置、异物检测方法和存储介质

专利名称：	异物检测装置、异物检测方法和存储介质
摘要：	本发明提供一种能够高精度地检测在流路部流动的异物的技术。装置包括：流路部(15A～15K)，其构成要被供给到被处理体W的流体流动的流路(17A～17K)；激光照射部(51)，其用于以光路与流路部(15A～15K)中的流体的流动方向交叉的方式对该流路部(15A～15K)内照射激光；设置在从流路部(15A～15K)透射的光路上的受光元件(45A、45B)；检测部(6)，其用于基于从受光元件(45A、45B)输出的信号来检测流体中的异物；和滤光部(57)，其设置在受光元件(45A、45B)与流路部(15A～15K)之间的光路上，遮挡从光照射部(51)对流体照射光而产生的拉曼散射光，并且使瑞利散射光透射而去往受光元件(45A、45B)。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	林圣人;野口耕平;梶原大介;东广大
专利状态：	有效
申请日期：	2018-01-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-27T00:00:00+0800
申请号：	CN201880007243.4
公开号：	CN110178018A
代理机构：	北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳;刘芃茜
分类号：	G01N21/85(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种用于检测要被供给到被处理体的流体中的异物的异物检测装置，其特征在于，包括：流路部，其构成要被供给到所述被处理体的流体流动的流路；激光照射部，其用于以光路与所述流路部中的流体的流动方向交叉的方式对该流路部内照射激光；设置在从所述流路部透射的光路上的受光元件；检测部，其用于基于从所述受光元件输出的信号来检测所述流体中的异物；和滤光部，其设置在所述受光元件与所述流路部之间的光路上，能够遮挡从所述激光照射部对所述流体照射光而产生的拉曼散射光，并且使瑞利散射光透射而去往所述受光元件。 2.如权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于：被所述滤光部遮挡的拉曼散射光是斯托克斯光和反斯托克斯光。 3.如权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于：所述流体是用于在所述被处理体形成涂敷膜的含有聚合物的药液，所述滤光部能够遮挡由所述聚合物而产生的拉曼散射光。 4.如权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于：所述流体是液体的稀释剂。 5.如权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于：所述滤光部是带通滤光片，该带通滤光片的半值宽度为100nm以下。 6.一种检测要被供给到被处理体的流体中的异物的异物检测方法，其特征在于，包括：将要被供给到所述被处理体的流体供给到构成该流体流动的流路的流路部的步骤；利用激光照射部，以光路与所述流路部中的流体的流动方向交叉的方式对该流路部内照射激光的步骤；由设置在从所述流路部透射的光路上的受光元件接收光的步骤；基于从所述受光元件输出的信号，由检测部检测所述流体中的异物的步骤；和利用设置在所述受光元件与所述流路部之间的光路上的滤光部，遮挡从所述激光照射部对所述流体照射光而产生的拉曼散射光，并且使瑞利散射光透射而去往所述受光元件的步骤。 7.一种存储介质，其中存储有在检测要被供给到被处理体的流体中的异物的异物检测装置中使用的计算机程序，所述存储介质的特征在于：所述计算机程序中编入有步骤组以使得执行权利要求6所述的异物检测方法。
所属类别：	发明专利