专利名称: |
载板传输装置 |
摘要: |
本实用新型涉及光伏制作设备技术领域,特别是涉及一种载板传输装置,包括:导轨;夹持机构,滑动连接于所述导轨,用于夹持载板;以及驱动机构,与所述夹持机构传动连接,用于驱动所述夹持机构沿所述导轨滑动。通过所述夹持机构夹持所述载板,在所述驱动机构驱动所述夹持机构沿所述导轨滑动时,所述夹持机构带动所述载板沿所述导轨滑动,从而实现所述载板的传输。由于所述载板在传输过程中被所述夹持机构固定夹持,两者之间不存在滑动摩擦力,因此可以避免出现载板的掉粉现象,保证PVD工艺质量。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
北京;11 |
申请人: |
君泰创新(北京)科技有限公司 |
发明人: |
王铮 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-10-16T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-09-06T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201821680647.3 |
公开号: |
CN209352189U |
代理机构: |
北京华进京联知识产权代理有限公司 |
代理人: |
熊曲 |
分类号: |
B65G47/90(2006.01);B;B65;B65G;B65G47 |
申请人地址: |
100176 北京市大兴区亦庄经济技术开发区荣华南路9号院2号楼10层 |
主权项: |
1.一种载板传输装置,其特征在于,包括: 导轨(100); 夹持机构(200),滑动连接于所述导轨(100),用于夹持载板;以及 驱动机构(300),与所述夹持机构(200)传动连接,用于驱动所述夹持机构(200)沿所述导轨(100)滑动。 2.根据权利要求1所述的载板传输装置,其特征在于,所述夹持机构(200)包括: 夹爪(210),用于夹持所述载板;以及 伸缩结构(220),滑动连接于所述导轨(100)且与所述夹爪(210)连接,用于带动所述夹爪(210)伸缩。 3.根据权利要求2所述的载板传输装置,其特征在于,所述伸缩结构(220)包括气缸,滑动连接于所述导轨(100),所述气缸的活塞杆与所述夹爪(210)连接。 4.根据权利要求2所述的载板传输装置,其特征在于,所述夹爪(210)设有用于固定夹持所述载板的夹口(211)。 5.根据权利要求2所述的载板传输装置,其特征在于,所述夹爪(210)包括相互平行的第一夹板和第二夹板,所述第一夹板和所述第二夹板之间的距离可调。 6.根据权利要求1所述的载板传输装置,其特征在于,所述驱动机构(300)包括: 丝杠轴(310),平行于所述导轨(100); 丝杠螺母(320),螺纹连接于所述丝杠轴(310),所述夹持机构(200)与所述丝杠螺母(320)连接; 动力源,与所述丝杠轴(310)传动连接,用于带动所述丝杠轴(310)转动。 7.根据权利要求1所述的载板传输装置,其特征在于,所述导轨(100)呈条形杆状结构,所述夹持机构(200)设有与所述导轨(100)相配合的滑动座(230),所述滑动座(230)套设于所述导轨(100)外。 8.根据权利要求1所述的载板传输装置,其特征在于,所述导轨(100)包括相互平行的第一子导轨和第二子导轨; 所述夹持机构(200)为两个,两个所述夹持机构(200)分别滑动连接于所述第一子导轨和所述第二子导轨,两个所述夹持机构(200)分别用于夹持所述载板的相对两端。 9.根据权利要求8所述的载板传输装置,其特征在于,所述驱动机构(300)为两个,两个所述驱动机构(300)分别与两个所述夹持机构(200)传动连接,以分别驱动两个所述夹持机构(200)同步滑动。 10.根据权利要求9所述的载板传输装置,其特征在于,还包括控制器,两个所述驱动机构(300)均与所述控制器电连接,所述控制器用于控制两个所述驱动机构(300)同步驱动所述夹持机构(200)滑动。 |
所属类别: |
实用新型 |