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原文传递可见光热反射测温装置

专利名称：	可见光热反射测温装置
摘要：	本发明公开了可见光热反射测温装置，包括照明光路，用于为待测样品提供照明脉冲信号；样品激励模块，用于为所述待测样品施加激励脉冲信号；成像模块，用于捕获所述待测样品反射的照明脉冲反射信号，获取所述待测样品在所述激励脉冲信号的激励下的热过程图像；其中，所述成像模块在同一曝光周期内捕获多个激励脉冲信号的同一相位对应的所述照明脉冲反射信号；所述成像模块在不同曝光周期捕获的所述照明脉冲反射信号对应的所述激励脉冲信号的相位不同。本发明实施例通过可见光热反射测温装置可以实现半导体器件的热过程图像，并通过减少预设时长，减少照明脉冲信号与激励脉冲信号的预设相位差，提升热成像过程的时间精度，大幅提升了时间分辨率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	中国科学院电工研究所
发明人：	王大正;刘珠明;郑利兵;司维康
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-17T00:00:00+0800
申请号：	CN201910510537.5
公开号：	CN110243759A
代理机构：	北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人：	李钦晓
分类号：	G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	100190 北京市海淀区中关村北二条6号
主权项：	1.可见光热反射测温装置，其特征在于，包括：照明光路(3)，用于为待测样品(5)提供照明脉冲信号；样品激励模块(6)，用于为所述待测样品(5)施加激励脉冲信号；成像模块(2)，用于捕获所述待测样品(5)反射的照明脉冲反射信号，获取所述待测样品(5)在所述激励脉冲信号的激励下的热过程图像；其中，所述成像模块(2)在同一成像曝光周期内捕获多个激励脉冲信号的同一相位对应的所述照明脉冲反射信号；所述成像模块(2)在不同成像曝光周期捕获的所述照明脉冲反射信号对应的所述激励脉冲信号的相位不同。 2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激励脉冲信号的频率为所述照明脉冲信号的频率的N倍；其中，N为大于或等于1的整数。 3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，沿时间轴所述成像模块(2)的相邻曝光成像周期捕获的所述照明脉冲反射信号相对其对应的所述激励脉冲信号的相位逐一进行延迟，覆盖所述待测样品(5)在同一激励脉冲信号的激励下的完整温度变化周期。 4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，沿时间轴所述照明光路(3)在所述成像模块(2)的相邻成像曝光周期所提供的照明脉冲信号相对于所述激励脉冲信号延迟预设时长。 5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，激励脉冲信号的周期为所述预设时长M倍，其中，M为大于1的整数。 6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述照明光路(3)包括：光源(1)，由于发出所述照明脉冲信号，所述光源为LED光源；分束镜组件，将所述照明脉冲信号反射至所述待测样品上；光学显微组件(4)，用于将所述照明脉冲反射信号放大至成像模块。 7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述样品激励模块(6)包括：激励源，通过连接探针(7)与所述待测样品(5)连接，用于产生所述激励脉冲信号。 8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：时序控制模块，通过输出对所述成像模块(2)、所述样品激励模块(6)和所述光源(1)进行时序控制；上位机，与所述时序控制模块连接，用于设置时序参数并发送指令。 9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述成像模块(2)为CCD相机。
所属类别：	发明专利