主权项: |
1.一种等离子体显示面板等的面板制造系统,其特征在于,包括:
循环路径,其形成闭环状;
多个工作车,其在该循环路径上反复行驶、停止,同时依次移动;
衬底搭载部,其设置在这些工作车上,搭载重合的至少一组一对衬底;
排气管安装部,其设置在这些工作车上,将排气管拆装自如地安装为
与所述一对衬底的一方面对;
排气装置,其设置在这些工作车上,与所述排气管安装部连接,通过
所述排气管进行排气处理;
热处理炉,其设置在所述循环路径上,为了行驶的所述工作车上的至
少一组所述一对衬底相互的接合和所述排气管向该衬底的接合而进行热
处理,并且通过该工作车的所述排气装置,进行从该衬底间的排气处理;
装卸部,其在所述循环路径上沿着所述工作车的行驶方向与所述热处
理炉邻接设置;
搬入系统,其将重合的所述一对衬底或所述排气管搬入该装卸部;
作业机器人,其设置在所述装卸部,根据控制信息进行动作,对装入
所述热处理炉中的所述工作车,进行所述排气管和所述一对衬底向所述排
气管安装部和所述衬底搭载部的供给,并且对从该热处理炉抽出的该工作
车,进行与该衬底接合的该排气管的密封、切断和切断后残留的该排气管
的撤去、切断该排气管而完成的面板的卸货;
搬出系统,其从所述装卸部搬出所述面板;
控制部件,其控制这些工作车、排气装置、热处理炉、搬入系统、作
业机器人、搬出系统。 |