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原文传递 等离子体显示面板等的面板制造系统
专利名称: 等离子体显示面板等的面板制造系统
摘要: 本发明提供一种能几乎全自动化制造等离子体显示面板等面板的等 离子体显示面板等的面板制造系统。其包括:闭环状的循环路径(1);在 循环路径上移动的多个工作车(2);设置在工作车上的衬底搭载部;设置 在工作车上,安装排气管的排气管安装部;设置在工作车上,与排气管安 装部连接的排气装置;设置在循环路径中,进行密封处理和排气处理的热 处理炉(8);设置在循环路径中的装卸部(9);将衬底或排气管搬入装卸 部(9)中的传送带(10、11);设置在装卸部,根据控制信息工作,进行 面板制造作业的机器人(12
专利类型: 发明专利
申请人: 中外炉工业株式会社
发明人: 木曾田欣弥
专利状态: 有效
申请日期: 2005-10-07T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200580051757.2
公开号: CN101278370
分类号: H01J9/46(2006.01)I
申请人地址: 日本国大阪府
主权项: 1.一种等离子体显示面板等的面板制造系统,其特征在于,包括: 循环路径,其形成闭环状; 多个工作车,其在该循环路径上反复行驶、停止,同时依次移动; 衬底搭载部,其设置在这些工作车上,搭载重合的至少一组一对衬底; 排气管安装部,其设置在这些工作车上,将排气管拆装自如地安装为 与所述一对衬底的一方面对; 排气装置,其设置在这些工作车上,与所述排气管安装部连接,通过 所述排气管进行排气处理; 热处理炉,其设置在所述循环路径上,为了行驶的所述工作车上的至 少一组所述一对衬底相互的接合和所述排气管向该衬底的接合而进行热 处理,并且通过该工作车的所述排气装置,进行从该衬底间的排气处理; 装卸部,其在所述循环路径上沿着所述工作车的行驶方向与所述热处 理炉邻接设置; 搬入系统,其将重合的所述一对衬底或所述排气管搬入该装卸部; 作业机器人,其设置在所述装卸部,根据控制信息进行动作,对装入 所述热处理炉中的所述工作车,进行所述排气管和所述一对衬底向所述排 气管安装部和所述衬底搭载部的供给,并且对从该热处理炉抽出的该工作 车,进行与该衬底接合的该排气管的密封、切断和切断后残留的该排气管 的撤去、切断该排气管而完成的面板的卸货; 搬出系统,其从所述装卸部搬出所述面板; 控制部件,其控制这些工作车、排气装置、热处理炉、搬入系统、作 业机器人、搬出系统。
所属类别: 发明专利
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