专利名称: |
石英件运输装置 |
摘要: |
本实用新型公开了一种石英件运输装置,包括榫卯连接的至少两个运输车,每个运输车的底板、顶板、左侧板、右侧板和后背板组成容纳石英件的车体,底板底面四个顶点处均安装有一组万向轮,底板包括A层板、B层板和多个限位柱,A层板平行设于B层板上方,A层板和B层板均形成有与限位柱数量相同的通孔,B层板的通孔与A层板的通孔在竖直方向位置相对应,限位柱下端插在B层板的通孔中,限位柱上端插在A层板的通孔内,限位柱具有向外突出的凸缘,限位柱在凸缘与A层板之间套设有第一弹簧,在凸缘与B层板之间套设有第二弹簧。本实用新型可以减少石英件在运输过程损伤,延长石英件的使用寿命,同时还可以解决某些扩散炉管空间狭小难以进入的问题。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
上海;31 |
申请人: |
上海华力微电子有限公司 |
发明人: |
吴怡晨 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-12-29T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-09-24T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201822241644.6 |
公开号: |
CN209426825U |
代理机构: |
上海浦一知识产权代理有限公司 |
代理人: |
栾美洁 |
分类号: |
B62B3/04(2006.01);B;B62;B62B;B62B3 |
申请人地址: |
201203 上海市浦东新区自由贸易试验区高斯路568号 |
主权项: |
1.一种石英件运输装置,其特征在于,包括至少两个运输车,所述运输车采用榫卯连接; 每个运输车都包括底板、顶板、左侧板、右侧板和后背板,所述底板、顶板、左侧板、右侧板和后背板组成容纳石英件的车体,底板的底面四个顶点处均安装有万向轮; 所述底板包括A层板、B层板和多个限位柱,所述A层板平行地设于B层板的上方,所述A层板和B层板均形成有与限位柱数量相同的通孔,且B层板的通孔与A层板的通孔在竖直方向上的位置一一对应,所述限位柱的下端插装在B层板的通孔中,限位柱的上端插装在A层板的通孔内,所述限位柱形成有向外突出的凸缘,所述限位柱在凸缘与A层板之间的部分套设有第一弹簧,且限位柱在凸缘与B层板之间的部分套设有第二弹簧。 2.根据权利要求1所述的石英件运输装置,其特征在于,所述第一弹簧的内径大于A层板的通孔直径,第一弹簧的外径小于限位柱凸缘的外边界尺寸,第一弹簧的上端抵在A层板的底面,第一弹簧的下端抵在限位柱的凸缘顶面。 3.根据权利要求1所述的石英件运输装置,其特征在于,所述第二弹簧的内径大于B层板的通孔直径,第一弹簧的外径小于限位柱凸缘的外边界尺寸,第二弹簧的上端抵在限位柱的凸缘底面,第一弹簧的下端抵在B层板的顶面。 4.根据权利要求1所述的石英件运输装置,其特征在于,所述B层板的下方设有C层板,B层板和C层板之间设有网格状的支撑架,且B层板的通孔与支撑架的网格空间相对应,所述支撑架的高度不小于A层板在第一弹簧和第二弹簧均达到最大压缩量时的下移距离。 5.根据权利要求4所述的石英件运输装置,其特征在于,所述C层板的下方还设有D层板,且C层板和D层板之间设有缓冲层。 6.根据权利要求1所述的石英件运输装置,其特征在于,每个运输车都设有把手,所述把手与运输车的车体榫卯连接。 7.根据权利要求1所述的石英件运输装置,其特征在于,所述运输车的后背板形成有挂钩凹槽,所述挂钩凹槽内通过销轴安装有隐藏式挂钩。 8.根据权利要求7所述的石英件运输装置,其特征在于,所述挂钩的上端和下端靠近挂钩凹槽底部的一侧设有倒角面,当隐藏式挂钩收起时,挂钩的外表面与后背板的外壁在同一平面内,当隐藏式挂钩打开时,隐藏式挂钩以销轴为中心向外转动,其上端伸出挂钩凹槽外,下端的倒角面与挂钩凹槽底部贴合。 9.根据权利要求1所述的石英件运输装置,其特征在于,所述万向轮的圆周面和外端面覆有橡胶层。 10.根据权利要求1所述的石英件运输装置,其特征在于,所述底板底面每个顶点处的万向轮包括两个。 |
所属类别: |
实用新型 |