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原文传递一种时域光谱仪的成像扫描装置

专利名称：	一种时域光谱仪的成像扫描装置
摘要：	一种时域光谱仪的成像扫描装置，通过太赫兹辐射源产生太赫兹信号后，聚焦到被扫描样品并探测该太赫兹信号，同时对该太赫兹信号进行相干采集，最后将样品移动平台的位置信息以及对相干采集后的太赫兹信号进行电流放大后，以传输至上位机进行数据处理，并控制音圈电机及样品移动平台同步运动。由此通过控制音圈电机及样品移动平台同步运动，避免了出现因音圈电机起始位置不确定造成的图像整行偏移现象；同时获取太赫兹信号和样品移动平台的位置信息，通过对像素点作矫正，避免了连续扫描成像过程中，出现的两端拉伸、累积偏移和因丢包出现的像素点缺失现象，实现了对样品的识别及进一步精确获取样品的结构信息、物理信息以及化学信息的效果。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司
发明人：	黄培雄;郝培博;湛俊秋
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-24T00:00:00+0800
申请号：	CN201822238338.7
公开号：	CN209432697U
代理机构：	深圳中一专利商标事务所
代理人：	高星
分类号：	G01N21/3586(2014.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	518000 广东省深圳市宝安区西乡街道宝田一路臣田工业区第37栋二楼东
主权项：	1.一种时域光谱仪的成像扫描装置，其特征在于，所述成像扫描装置包括：用于产生太赫兹信号的太赫兹辐射源；与所述太赫兹辐射源连接，用于承载被扫描样品，并使所述太赫兹信号聚焦到所述被扫描样品的样品移动平台；与所述样品移动平台连接，用于探测穿透过或反射于所述被扫描样品的所述太赫兹信号的强度的探测单元；与所述探测单元连接，用于对所述太赫兹信号进行相干采集并进行传输的音圈电机；以及与所述音圈电机及所述样品移动平台连接，用于将所述样品移动平台的位置信息以及对相干采集后的所述太赫兹信号进行电流放大后，以传输至上位机进行数据处理，并控制所述音圈电机及所述样品移动平台同步运动的控制单元。 2.如权利要求1所述的成像扫描装置，其特征在于，所述太赫兹信号的频率范围为0.1THz～10THz。 3.如权利要求1所述的成像扫描装置，其特征在于，所述探测单元采用信号探测器实现。 4.如权利要求1所述的成像扫描装置，其特征在于，所述太赫兹辐射源采用飞秒激光激发半导体材料表面后产生所述太赫兹信号。 5.如权利要求1所述的成像扫描装置，其特征在于，所述控制单元采用微处理器实现。
所属类别：	实用新型