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原文传递一种真空互联样品转移装置及转移方法

专利名称：	一种真空互联样品转移装置及转移方法
摘要：	本发明涉及一种真空互联样品转移装置及转移方法，所述设备包括：进样室、直线传输段、圆形传样腔、抽真空装置及充气装置，所述进样室与所述直线传输段之间设置一第一阀门，以使所述进样室与所述直线传输段连通或隔断，所述圆形传样腔与二对接装置连接，并可通过所述对接装置与分别转出目标设备、转入目标设备连接，所述圆形传样腔可将样品在不同外部目标设备间传递样品。本发明的优点在于，无论转移装置是否与外部目标设备相连，目标样品始终处于超高真空的环境中，使得在样品存放及转移过程中，且能够避免不同设备间机械振动等噪声的互相干扰。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	常州国成新材料科技有限公司
发明人：	董国材;张祥;张金龙
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-27T00:00:00+0800
申请号：	CN201910572259.6
公开号：	CN110286244A
分类号：	G01N35/10(2006.01);G;G01;G01N;G01N35
申请人地址：	213000 江苏省常州市常州西太湖科技产业园祥云路6号
主权项：	1.一种真空互联样品转移装置及转移方法，其特征在于，所述设备包括：进样室、直线传输段、圆形传样腔、抽真空装置及充气装置，所述进样室与所述直线传输段之间设置一第一阀门，以使所述样室与所述直线传输段连通或隔断，所述圆形传样腔与二对接装置连接，并可通过所述对接装置与两个外部目标设备连接，所述转移装置还包括一与所述进样室的抽真空装置及一充气装置，所述抽真空装置用于对所述转移装置抽取真空，以使所述转移装置为真空环境，所述充气装置为所述进样室充气，以使所述进样室具有气体环境。 2.根据权利要求1所述的一种真空互联样品转移装置及转移方法，其特征在于：所述的直线传输段有直线段和直线过渡段两部分，直线段连接了进样室和过渡段，并且具有和其他直线段连接的法兰接口。 3.直线过渡段连接了直线段和圆形传样腔，具备短期存放多个样品的停放台。 4.根据权利要求2所述的一种真空互联样品转移装置及转移方法，其特征在于：所述的圆形传样腔与直线过渡段相连接。 5.根据权利要求3所述的一种真空互联样品转移装置及转移方法，其特征在于：所述的圆形传样腔内部设置有可自由转动和伸缩旋转的机械臂。 6.一种真空互联样品转移装置及转移方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）二对接装置分别与转出目标设备、转入目标设备连接，以使圆形传样腔通过所述对接装置与所述外部目标设备连接；（2）打开所述进样室与所述直线传输段之间的第一阀门，抽真空装置对所述转移装置抽取真空，以使转移装置为真空环境；（3）打开所述转移装置的第二阀门，以使所述转出目标设备与所述圆形传样腔相通，所述转出目标设备为超高真空环境；（4）使用样品移动装置将转出目标设备的样品转移到圆形传样腔；（5）关闭所述转移装置的第二阀门，打开所述转移装置第三阀门，以使所述转入目标设备与所述圆形传样腔相通，所述转入目标设备为超高真空环境；；（6）使用样品移动装置将样品从圆形传样腔转移到转入目标设备；（7）关闭第三阀门，完成样品转移，与外部目标设备断开连接。
所属类别：	发明专利