详情

原文传递超薄电化学气体传感器

专利名称：	超薄电化学气体传感器
摘要：	本公开提供了一种电化学传感器(100)。该电化学传感器(100)具有：衬底(102)；多个电极(104,105,106)，该多个电极设置在衬底(102)的第一表面上；电解质(103)，该电解质设置在多个电极(104,105,106)中的每个电极的至少一部分之上；和一个或多个毛细管(113)，该一个或多个毛细管穿过衬底(102)设置，其中该一个或多个毛细管(113)被配置为提供目标气体从传感器的外部传递到多个电极(104,105,106)中的一个或多个电极的扩散通路，并且其中衬底(102)的长度或宽度与一个或多个毛细管(113)的直径的比率大于约30。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	霍尼韦尔国际公司
发明人：	穆庆辉;刘玲
专利状态：	有效
申请日期：	2017-03-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201780086666.5
公开号：	CN110300887A
代理机构：	北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人：	杨贝贝;臧建明
分类号：	G01N27/407(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	美国新泽西州
主权项：	1.一种电化学传感器(100)，包括：衬底(102)；多个电极(104,105,106)，所述多个电极设置在所述衬底(102)的第一表面上；电解质(103)，所述电解质设置在所述多个电极(104,105,106)中的每个电极的至少一部分之上；和一个或多个毛细管(113)，所述一个或多个毛细管穿过所述衬底(102)设置，其中所述一个或多个毛细管(113)被配置为提供目标气体从所述传感器的外部传递到所述多个电极(104,105,106)中的一个或多个电极的扩散通路，并且其中所述衬底(102)的长度或宽度与所述一个或多个毛细管(113)的直径的比率大于约30。 2.根据权利要求1所述的电化学传感器(100)，其中所述一个或多个毛细管(113)包括穿过所述衬底(102)设置的多个毛细管(113)。 3.根据权利要求1所述的电化学传感器(100)，其中所述衬底(102)具有介于大约10μm至大约10mm之间的长度或宽度。 4.根据权利要求1所述的电化学传感器(100)，其中所述一个或多个毛细管(113)具有介于大约0.5μm和大约30μm之间的直径。 5.根据权利要求1所述的电化学传感器(100)，其中所述传感器(100)具有介于约0.2mm和大约2mm之间的厚度。 6.根据权利要求1所述的电化学传感器(100)，其中所述衬底(102)的所述长度或所述宽度与所述一个或多个毛细管(113)的所述直径的所述比率大于约50。 7.根据权利要求1所述的电化学传感器(100)，其中所述衬底(102)的所述长度与所述一个或多个毛细管(113)的所述直径的所述比率大于约100。 8.根据权利要求1所述的电化学传感器(100)，其中所述传感器(100)的所述厚度与所述一个或多个毛细管(113)的所述直径的比率大于约20。 9.根据权利要求1所述的电化学传感器(100)，还包括密封剂(112)，所述密封剂施用在所述电解质(103)之上，其中所述一个或多个毛细管(113)是位于外部环境与所述多个电极(104,105,106)之间的唯一流体连通通路。 10.根据权利要求1所述的电化学传感器(100)，其中所述一个或多个毛细管(113)中的至少一个毛细管包括在所述衬底(102)的所述第一表面上的开口，并且其中所述开口被所述多个电极的感测电极(104)围绕。 11.一种形成电化学传感器的方法，所述方法包括：穿过衬底形成一个或多个毛细管，其中所述衬底的长度与所述一个或多个毛细管的所述直径的所述比率大于约50；在所述衬底的第一表面上形成多个电极；将电解质设置在所述多个电极中的每个电极的至少一部分之上；以及密封所述多个电极和所述电解质以使其与外部环境隔开，其中所述一个或多个毛细管形成所述外部环境与所述多个电极之间的唯一开口。 12.根据权利要求11所述的方法，其中密封所述多个电极和所述电解质以使其与所述外部环境隔开包括将密封剂施用在所述多个电极之上。 13.根据权利要求11所述的方法，其中形成一个或多个毛细管包括穿过所述衬底以某个图案形成多个毛细管。 14.根据权利要求11所述的方法，其中形成所述多个电极包括在所述第一表面上形成与所述一个或多个毛细管中的至少一个毛细管的开口相邻的至少一个电极，其中所述至少一个电极围绕所述一个或多个毛细管中的所述至少一个毛细管的所述开口设置。 15.根据权利要求14所述的方法，其中将所述电解质设置在所述多个电极的至少所述部分电极之上包括将所述电解质设置在所述开口之上的所述至少一个电极上。
所属类别：	发明专利