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原文传递一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法

专利名称：	一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法
摘要：	本发明公开了一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，用于对周期性图像进行扫描，包括如下步骤：S01：确定扫描方向为图像的周期性方向，并定义扫描方向为图像的行方向；将图像分为M行N列；S02：将每一行图像分为X个区域，X为大于0的整数；S03：电子束按照无序扫描路径对第1行中每个区域进行扫描，且X个区域中的无序扫描路径相同；S04：重复步骤S03直至完成周期性图像的M行扫描。本发明提供的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，将扫描电子显微镜中的有序扫描路径变为无序扫描路径，使得扫描电子显微镜在扫描周期性图像时减弱摩尔纹的强度或者消除摩尔纹。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海集成电路研发中心有限公司
发明人：	李艳丽;伍强;杨渝书
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-11T00:00:00+0800
申请号：	CN201910693813.6
公开号：	CN110320226A
代理机构：	上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	吴世华;马盼
分类号：	G01N23/2251(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	201210 上海市浦东新区张江高斯路497号
主权项：	1.一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，用于对周期性图像进行扫描，所述周期性图像中包含周期性排列的图案；其特征在于，包括如下步骤： S01：确定扫描方向为图像的周期性方向，并定义扫描方向为图像的行方向；将图像分为M行N列，其中，周期性方向指的是图像中周期性排列的图案的排列方向；M和N均为大于0的整数； S02：将每一行图像分为X个区域，X为大于0的整数； S03：电子束按照无序扫描路径对第1行中每个区域进行扫描，且X个区域中的无序扫描路径相同； S04：重复步骤S03直至完成周期性图像的M行扫描。 2.根据权利要求1所述的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，其特征在于，当所述周期性方向为多个时，确定其中一个周期性方向为扫描方向。 3.根据权利要求1所述的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，其特征在于，M行图像中相同位置的区域的无序扫描路径相同。 4.根据权利要求1所述的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，其特征在于，M行图像中相同位置的区域的无序扫描路径均不相同。 5.根据权利要求1所述的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，其特征在于，M行图像中相同位置的区域的无序扫描路径部分相同。 6.根据权利要求1所述的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，其特征在于，所述步骤S03中电子束按照无序扫描路径进行扫描时，每次扫描的行放大倍率相同。 7.根据权利要求1所述的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，其特征在于，所述电子束的扫描周期为每个区域在行方向上的距离。 8.根据权利要求1所述的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，其特征在于，所述步骤S02将每一行图像等分为X个区域。 9.根据权利要求1所述的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，其特征在于，所述无序扫描路径中电子束的每一次移动轨迹均与图像的行方向不平行。
所属类别：	发明专利