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原文传递一种气体传感器及其制备方法

专利名称：	一种气体传感器及其制备方法
摘要：	本发明公开了一种气体传感器及其制备方法，通过以具有优良导电性且具有可满足气体传感器工作环境所需的热稳定性和化学稳定性的材料作为基板，使得不仅可在基板上通过喷涂、旋涂、丝网印刷、电化学沉积工艺和光电化学沉积工艺等工艺沉积高结晶度的气敏层，以此提高气敏层的灵敏度，而且使得制得的所述气体传感器可在各种恶劣的环境下进行稳定地工作，有利于所述气体传感器被广泛应用在各种领域中。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
发明人：	潘革波;王超
专利状态：	有效
申请日期：	2018-03-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-11T00:00:00+0800
申请号：	CN201810287298.7
公开号：	CN110320245A
代理机构：	深圳市铭粤知识产权代理有限公司
代理人：	孙伟峰
分类号：	G01N27/12(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
主权项：	1.一种气体传感器，其特征在于，包括：基板(1)，所述基板(1)的电阻率小于105Ω·cm，所述基板(1)的最高的工作温度为1200℃，所述基板(1)浸泡在王水溶液中时，所述基板(1)的表面至少在48小时以内无新的缺陷产生；气敏层(2)，所述气敏层(2)形成在所述基板(1)上；第一电极(3)，所述第一电极(3)连接在所述气敏层(2)上；第二电极(4)，所述第二电极(4)连接在所述基板(1)或所述气敏层(2)上。 2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述基板(1)的表面形成多个孔洞(11)，所述气敏层(2)填充各个所述孔洞(11)，并在所述基板(1)的表面形成薄膜结构。 3.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述基板(1)为玻璃组合物或聚合物膜。 4.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述第一电极(3)包括第一电极垫片(31)和第一导线(32)，所述第一导线(32)通过所述第一电极垫片(31)连接在所述气敏层(2)上；所述第二电极(4)包括第二电极垫片(41)和第二导线(42)，所述第二导线(42)通过所述第二电极垫片(41)连接在所述基板(1)或气敏层(2)上。 5.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述基板(1)的电阻率为4×10-3Ω·cm～1×105Ω·cm。 6.根据权利要求1-5任一所述的气体传感器，其特征在于，所述气敏层(2)为金属氧化物制成的半导体气敏膜。 7.一种气体传感器的制备方法，其特征在于，包括步骤： S1、提供一个基板(1)，所述基板(1)的电阻率小于105Ω·cm，所述基板(1)的最高的工作温度为1200℃，所述基板(1)浸泡在王水溶液中时，所述基板(1)的表面至少在48小时以内无新的缺陷产生； S2、应用喷涂、旋涂、丝网印刷、电化学沉积工艺和光电化学沉积工艺中任一种工艺在所述基板(1)上制作气敏层(2)； S3、在所述气敏层(2)上制作第一电极(3)； S4、在所述基板(1)或气敏层(2)上制作第二电极(4)。 8.根据权利要求7所述气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，先对所述基板(1)进行处理，使所述基板(1)的表面形成多个孔洞(11)。 9.根据权利要求8所述气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，应用刻蚀工艺对所述基板(1)进行处理，使所述基板(1)的表面形成多个孔洞(11)。
所属类别：	发明专利