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原文传递一种扩散式光声微腔气体传感器

专利名称：	一种扩散式光声微腔气体传感器
摘要：	本发明提供了一种扩散式光声微腔气体传感器。该传感器包括光源、光声微腔、小孔、麦克风、电路板和显示屏。气体经小孔扩散到光声微腔中，气孔的对光声响应的影响相当于一个“高通滤波器”，气孔越大，“高通滤波器”的截止频率越高，在保证气孔不降低光声响应的前提下尽量增加气孔大小提高传感器的响应速度。光声信号的幅度与气体浓度成正比，采用麦克风测量光声信号的大小后可反演出待测气体的浓度。本发明的气体传感器具有结构简单、灵敏度高、体积小、成本低、响应速度快和功耗低等诸多优点，为高灵敏度气体泄漏监测提供了一种极具竞争力的技术方案。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	大连理工大学
发明人：	陈珂;陈烨伟;刘帅;邓红
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-05T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-15T00:00:00+0800
申请号：	CN201910604705.7
公开号：	CN110333190A
代理机构：	大连理工大学专利中心
代理人：	温福雪;侯明远
分类号：	G01N21/17(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
主权项：	1.一种扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的扩散式光声微腔气体传感器包括光源(1)、光声微腔(2)、小孔(3)、麦克风(4)、电路板(6)和显示屏(6)；在光声微腔(2)侧壁上开有小孔(3)，待测气体经过小孔(3)扩散进入到光声微腔(2)中；电路板(6)驱动光源(1)，发射的光声激励光入射到光声微腔(2)中；麦克风(4)探测光声微腔(2)中产生的光声压力波，电路板(6)测量光声信号的幅度后计算出待测气体的浓度；显示屏(6)与电路板(6)相连，用于显示气体浓度值。 2.根据权利要求1所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的光源(1)是LED或波长可调谐窄线宽激光光源。 3.根据权利要求1或2所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的小孔(3)的数量大于等于1。 4.根据权利要求1或2所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的麦克风(4)是驻极体麦克风或MEMS麦克风。 5.根据权利要求3所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的麦克风(4)是驻极体麦克风或MEMS麦克风。 6.根据权利要求1、2或5所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的电路板(6)主要具有光源驱动和信号采集与处理的功能。 7.根据权利要求3所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的电路板(6)主要具有光源驱动和信号采集与处理的功能。 8.根据权利要求4所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的电路板(6)主要具有光源驱动和信号采集与处理的功能。
所属类别：	发明专利