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原文传递用于集成电路的气体污染物取样装置

专利名称：	用于集成电路的气体污染物取样装置
摘要：	本发明提供一种气体污染物取样装置，其包括取样容器，所述取样容器包括：容置腔，所述容置腔内能够放置取样液体；进样管，插入所述容置腔，且所述进样管的出气口能够位于所述取样液体的液面之下；出气管，插入所述容置腔，且所述出气管的进气口能够位于所述取样液体的液面之上；多孔芯，设置在所述进样管的出气口端，待取样气体能够经所述多孔芯进入所述取样液体内。本发明的优点在于，增大进入所述取样液体内的气体的表面积，增大待取样气体与所述取样液体的接触面积，提高取样液体固定待取样气体中的污染物能力和效率，且待取样气体洗脱更充分，测试数据更具有代表性，也更加安全。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	长江存储科技有限责任公司
发明人：	徐小明;聂艳群
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-18T00:00:00+0800
申请号：	CN201910711188.3
公开号：	CN110346188A
代理机构：	上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	董琳
分类号：	G01N1/22(2006.01);G;G01;G01N;G01N1
申请人地址：	430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
主权项：	1.一种用于集成电路的气体污染物取样装置，其特征在于，包括取样容器，所述取样容器包括：容置腔，所述容置腔内能够放置取样液体；进样管，插入所述容置腔，且所述进样管的出气口能够位于所述取样液体的液面之下；出气管，插入所述容置腔，且所述出气管的进气口能够位于所述取样液体的液面之上；多孔芯，设置在所述进样管的出气口端，待取样气体能够经所述多孔芯进入所述取样液体内。 2.根据权利要求2所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述容置腔的底部为圆弧形。 3.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述容置腔至少包括两个区段，所述区段的内径不相等。 4.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述容置腔包括自底部依次设置的第一区段及第二区段，所述第二区段的内径小于所述第一区段的内径。 5.根据权利要求4所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述第一区段的形状为球形，所述第二区段的形状为柱形。 6.根据权利要求4所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述第二区段的内径为所述第一区段的内径的0.5～0.8倍。 7.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述容置腔具有开口，所述进样管及所述出气管经所述开口插入所述容置腔，在所述开口处设置有单向逆止阀门，所述单向逆止阀门的通行方向为朝向所述容置腔内。 8.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述进样管设置在所述容置腔的中间。 9.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，在所述进样管的进气口端设置有滤芯，待取样气体经所述滤芯进入所述进样管，所述滤芯用于过滤待取样气体中的颗粒物。 10.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，在所述出气管内设置有浮子，以监测在所述出气管内是否有气体流动。 11.根据权利要求10所述的气体污染物取样装置，其特征在于，在所述出气管对应所述浮子的区域，所述出气管壁上设置有标记，以指示气体流量。 12.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述多孔芯位于所述进样管内，或者所述多孔芯位于所述进样管的所述出气口的外部。 13.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述取样装置还包括：抽气装置，与所述取样容器的出气管连通，用于抽取所述出气管内的气体。 14.根据权利要求13所述的气体污染物取样装置，其特征在于，在所述抽气装置与所述取样容器之间还设置有：缓冲装置，与所述出气管连通，所述出气管的气体排出至所述缓冲装置；干燥装置，分别与所述缓冲装置及所述抽气装置连通。
所属类别：	发明专利