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原文传递检查系统和检查方法

专利名称：	检查系统和检查方法
摘要：	实施方式的检查系统具有：照明部，其以如下方式依次对多个条纹图案进行切换而输出，该方式是，在使第1条纹图案移动1个周期的量之后，无缝地使第2条纹图案移动1个周期的量；第1信号输出部，其向照明部输出触发多个条纹图案的输出开始的第1信号；第2信号输出部，其向照明部输出触发多个条纹图案的切换的第2信号；图像数据取得部，其通过在基于第1信号的时刻开始使从图像传感器输出的帧重叠，而取得时间相关图像数据；图像生成部，其根据时间相关图像数据生成仅与第1条纹图案对应的第1时间相关图像和仅与第2条纹图案对应的第2时间相关图像；以及异常检测部，其根据第1时间相关图像和第2时间相关图像，对检查对象面的异常进行检测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	理光越岭美有限公司
发明人：	赤泽圭一;井上靖之;栗原徹
专利状态：	有效
申请日期：	2018-03-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-25T00:00:00+0800
申请号：	CN201880015374.7
公开号：	CN110383050A
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	崔成哲;黄纶伟
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本爱知县
主权项：	1.一种检查系统，其具有：照明部，其通过以如下方式依次对多个条纹图案进行切换而输出，从而对被检查体赋予光的强度的周期性的时间变化和空间变化，该方式是，在使沿第1方向延伸的第1条纹图案沿与所述第1方向交叉的第2方向移动1个周期的量之后，无缝地使沿所述第2方向延伸的第2条纹图案沿所述第1方向移动1个周期的量；第1信号输出部，其向所述照明部输出触发所述多个条纹图案的输出开始的第1信号；第2信号输出部，其向所述照明部输出触发所述多个条纹图案的切换的第2信号；图像传感器，其用于时间相关照相机或进行与该时间相关照相机等同的动作的摄像系统；图像数据取得部，其通过在基于所述第1信号的时刻开始使从所述图像传感器输出的帧重叠，而取得对被所述照明部照射的所述被检查体的检查对象面进行拍摄而得到的时间相关图像数据；图像生成部，其根据所述时间相关图像数据，生成仅与所述第1条纹图案对应的第1时间相关图像和仅与所述第2条纹图案对应的第2时间相关图像；以及异常检测部，其根据所述第1时间相关图像和所述第2时间相关图像，对所述检查对象面的异常进行检测。 2.根据权利要求1所述的检查系统，其中，该检查系统还具有参照信号输出部，该参照信号输出部在基于所述第1信号的时刻开始输出参照信号，该参照信号具有：第1区间，在该第1区间中，在所述第1条纹图案的1个周期的量的移动中值随着时间变化而变化；以及第2区间，在该第2区间中，在所述第2条纹图案的1个周期的量的移动中值随着时间变化而变化，所述图像数据取得部将从所述图像传感器输出的帧与该帧的输出时刻的所述参照信号的值相乘并使该帧重叠，从而取得如下的第1时间相关图像数据和第2时间相关图像数据，该第1时间相关图像数据是基于所述第1条纹图案被切换为所述第2条纹图案之前的所述第1区间的值的重叠结果，该第2时间相关图像数据是基于所述第1条纹图案被切换为所述第2条纹图案之后的所述第2区间的值的重叠结果，所述图像生成部根据所述第1时间相关图像数据生成所述第1时间相关图像，根据所述第2时间相关图像数据生成所述第2时间相关图像。 3.根据权利要求1所述的检查系统，其中，该检查系统还具有：第1参照信号输出部，其在基于所述第1信号的时刻开始输出第1参照信号，该第1参照信号具有在所述第1条纹图案的1个周期的量的移动中值随着时间变化而变化的第3区间、以及在所述第2条纹图案的1个周期的量的移动中值与时间变化无关而恒定的第4区间；以及第2参照信号输出部，其在基于所述第1信号的时刻开始输出第2参照信号，该第2参照信号具有在所述第1条纹图案的1个周期的量的移动中值与时间变化无关而恒定的第5区间、以及在所述第2条纹图案的1个周期的量的移动中值随着时间变化而变化的第6区间，所述图像数据取得部通过将从所述图像传感器输出的帧与该帧的输出时刻的所述第1参照信号和所述第2参照信号的值相乘并且使该帧重叠，而取得第3时间相关图像数据和第4时间相关图像数据，该第3时间相关图像数据是在从所述第1条纹图案的1个周期的量的移动开始至所述第2条纹图案的1个周期的量的移动结束为止的期间内，基于所述第1参照信号的所述第3区间和所述第4区间的值的重叠结果，该第4时间相关图像数据是在从所述第1条纹图案的1个周期的量的移动开始至所述第2条纹图案的1个周期的量的移动结束为止的期间内，基于所述第2参照信号的所述第5区间和所述第6区间的值的重叠结果，所述图像生成部根据所述第3时间相关图像数据生成所述第1时间相关图像，根据所述第4时间相关图像数据生成所述第2时间相关图像。 4.根据权利要求1所述的检查系统，其中，该检查系统还具有：第3参照信号输出部，其在基于所述第1信号的时刻开始输出第3参照信号，该第3参照信号具有在所述第1条纹图案的1个周期的量的移动中值随着时间变化而变化的第7区间、以及在所述第2条纹图案的1个周期的量的移动中值随着时间变化而变化的第8区间；以及第4参照信号输出部，其在基于所述第1信号的时刻开始输出第4参照信号，该第4参照信号具有在所述第1条纹图案的1个周期的量的移动中、值以与所述第7区间的值一致的方式变化的第9区间、以及在所述第2条纹图案的1个周期的量的移动中值以与所述第8区间的值的反转对应的方式变化的第10区间，所述图像数据取得部通过将从所述图像传感器输出的帧与该帧的输出时刻的所述第3参照信号和所述第4参照信号的值相乘并使该帧重叠，而取得如下的第5时间相关图像数据和第6时间相关图像数据，该第5时间相关图像数据是在从所述第1条纹图案的1个周期的量的移动开始至所述第2条纹图案的1个周期的量的移动结束为止的期间内，基于所述第3参照信号的所述第7区间和所述第8区间的值的重叠结果，该第6时间相关图像数据是在从所述第1条纹图案的1个周期的量的移动开始至所述第2条纹图案的1个周期的量的移动结束为止的期间内，基于所述第4参照信号的所述第9区间和所述第10区间的值的重叠结果，所述图像生成部根据所述第5时间相关图像数据与所述第6时间相关图像数据之和生成所述第1时间相关图像，根据所述第5时间相关图像数据与所述第6时间相关图像数据之差生成所述第2时间相关图像。 5.一种检查方法，其具有如下步骤：照明步骤，通过照明部对被检查体赋予光的强度的周期性的时间变化和空间变化，该照明部以如下方式依次对多个条纹图案进行切换而输出，该方式是，在使沿第1方向延伸的第1条纹图案沿与所述第1方向交叉的第2方向移动1个周期的量之后，无缝地使沿所述第2方向延伸的第2条纹图案沿所述第1方向移动1个周期的量；第1信号输出步骤，向所述照明部输出触发所述多个条纹图案的输出开始的第1信号；第2信号输出步骤，向所述照明部输出触发所述多个条纹图案的切换的第2信号；图像数据取得步骤，通过在基于所述第1信号的时刻开始使从图像传感器输出的帧重叠，而取得对在所述照明步骤中被照射的所述被检查体的检查对象面进行拍摄而得到的时间相关图像数据，该图像传感器用于时间相关照相机或进行与该时间相关照相机等同的动作的摄像系统；以及图像生成步骤，根据所述时间相关图像数据生成仅与所述第1条纹图案对应的第1时间相关图像和仅与所述第2条纹图案对应的第2时间相关图像；以及异常检测步骤，根据所述第1时间相关图像和所述第2时间相关图像，对所述检查对象面的异常进行检测。
所属类别：	发明专利