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原文传递高低温探针台测试装置

专利名称：	高低温探针台测试装置
摘要：	本发明公开了一种高低温探针台测试装置，高低温探针台测试装置包括：底座、冷热台组件和多个探针组件。底座限定出盛放腔；底座设置有循环冷媒接口，冷热台组件设置于底座且对被测元件进行升温及降温，冷热台位于盛放腔内；多个探针组件设置于盛放腔。由此，通过底座、冷热台组件和多个探针组件配合，冷热台组件能够对被测元件升温和降温，可以为被测元件提供一个变化的热场，并且，多个探针组件可同时对多个被检测元件的电学、电化学等参数进行检测，可以提升高低温探针台测试装置的检测效率，同时，高低温探针台测试装置可以与多种测试仪器连用，满足材料测试的不同测试条件，具有节能、多功能、微型化、快速升降温等优点。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海同果智能科技有限公司
发明人：	肖钊;肖石;汪金文
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-22T00:00:00+0800
申请号：	CN201910608754.8
公开号：	CN110361419A
代理机构：	北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	黄德海
分类号：	G01N27/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	201805 上海市嘉定区安亭镇墨玉南路888号2201室J933
主权项：	1.一种高低温探针台测试装置，其特征在于，包括：底座，所述底座限定出盛放腔，所述盛放腔密封为被测元件提供真空环境或者气氛环境，所述底座设置有循环冷媒接口；冷热台组件，所述冷热台组件设置于所述底座且对所述被测元件进行升温及降温，所述冷热台组件的冷热台位于所述盛放腔内；多个探针组件，多个所述探针组件可移动地设置于所述盛放腔，多个所述探针组件适于与所述冷热台配合以检测所述被检测元件。 2.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，多个所述探针组件围绕所述冷热台布置且相对所述冷热台可移动；所述冷热台为扁平状。 3.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，还包括：多个安装座，多个所述安装座设置于所述盛放腔内，多个所述安装座与多个所述探针组件一一对应，所述探针组件可移动地设置于所述安装座；绝缘底板，所述绝缘底板设置于所述安装座与所述底座之间。 4.根据权利要求3所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，多个所述探针组件包括：第一探针组件，所述第一探针组件包括第一探针杆、第一探针轴、第一探针头和热电偶，所述第一探针杆可移动地设置于所述安装座，所述第一探针轴设置于所述第一探针杆，所述第一探针头设置于所述第一探针轴，所述热电偶设置于所述第一探针头，所述热电偶适于与所述冷热台止抵。 5.根据权利要求3所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，多个所述探针组件包括：第二探针组件和第三探针组件，所述第二探针组件和所述第三探针组件均包括第二探针杆、第二探针轴和第二探针头，所述第二探针杆可移动地设置于所述安装座，所述第二探针轴设置于所述第二探针杆，所述第二探针头设置于所述第二探针轴；所述第二探针组件的所述第二探针头的长度大于所述第三探针组件的所述第二探针头的长度。 6.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，所述底座的侧壁设置有温控接口和多个测试仪器接口，所述温控接口和多个所述测试仪器接口均通过侧板设置于所述侧壁；所述温控接口和多个所述测试仪器接口均设置有密封垫。 7.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，还包括：绝缘挡板，所述绝缘挡板设置于所述盛放腔内，所述绝缘挡板与所述盛放腔限定出所述走线空间；盖板，所述盖板盖设在所述盛放腔的敞开端，所述盖板具有可视窗，所述可视窗与所述冷热台相对应。 8.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，所述底座的侧壁内具有冷却流道，所述循环冷媒接口设置于所述侧壁，所述循环冷媒接口包括冷媒进口和冷媒出口，所述冷却流道的一端与所述冷媒进口相连，另一端与所述冷媒出口相连。 9.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，所述底座的侧壁设置有第一出气口和第一进气口，所述第一出气口和所述第一进气口均与所述冷热台连通；所述第一出气口设置有出气管，所述第一进气口设置有进气管，所述出气管和所述进气管均构造为聚四氟套。 10.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置，其特征在于，所述底座的侧壁设置有第二出气口和第二进气口，所述第二出气口和所述第二进气口均与所述盛放腔连通。
所属类别：	发明专利