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具有气氛调节功能的光学样品测试装置
| 专利名称： | 具有气氛调节功能的光学样品测试装置 |
| 摘要： | 本实用新型涉及具有气氛调节功能的光学样品测试装置，包括样品台、气氛调节腔体和激光光源，气氛调节腔体包括主腔体、气体混合腔和抽气部件，气体混合腔与主腔体连通，抽气部件与主腔体的出气口连接；气体混合腔上设有若干气体入口；主腔体上设有光入口和光出口，激光光源设在光入口的一侧；样品台设在主腔体内侧正对光入口。该装置结构简单、气氛调节易操作，能够为光学样品测试提供合适的气体氛围，提高实验准确性。该装置设有气体混合腔，对气体进行预混合，达到比例后再送入主腔体，减小了真空状态对气体流量计的损害。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 广州大学 |
| 发明人： | 张伟;邹贤劭 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-01-15T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-10-22T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201920058931.5 |
| 公开号： | CN209525260U |
| 代理机构： | 广州市华学知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 裘晖 |
| 分类号： | G01N21/25(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 510006 广东省广州市番禺区大学城外环西路230号 |
| 主权项： | 1.具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：包括样品台、气氛调节腔体和激光光源，气氛调节腔体包括主腔体、气体混合腔和抽气部件，气体混合腔与主腔体连通，抽气部件与主腔体的出气口连接；气体混合腔上设有若干气体入口；主腔体上设有光入口和光出口，激光光源设在光入口的一侧；样品台设在主腔体内侧正对光入口。 2.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：光入口和光出口均为石英制成的光学窗口，光入口和光出口同轴设置。 3.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：气氛调节腔体还包括三轴移动平台，三轴移动平台与气氛调节腔体连接，样品台为具有升降定位功能的平台。 4.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：样品台上设有热电偶。 5.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：主腔体和气体混合腔均由高强度的不锈钢制成。 6.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：气体混合腔的每一气体入口上均设有气体流量计和阀门。 7.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：主腔体内设有第一气压计。 8.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：气体混合腔与主腔体之间设有三通阀。 9.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：主腔体上设有一电源接口，通过电源接口外接偏压设备，对样品施加偏压。 10.按照权利要求1所述的具有气氛调节功能的光学样品测试装置，其特征在于：气体混合腔上设有第二气压计。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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