详情

原文传递一种石英坩埚搬运机器人装置

专利名称：	一种石英坩埚搬运机器人装置
摘要：	本实用新型公开了一种石英坩埚搬运机器人装置，包括机架，设置于机架上的传输机构、升降机构、夹持机构和传感器，以及控制器；传输机构包括依次连接的X轴传输机构、Z轴传输机构和Y轴传输机构；夹持机构与Y轴传输机构滑动连接且通过气缸一驱动，包括两个相对设置的滚轮组件和设置于滚轮组件外侧的回转气缸，滚轮组件包括至少一对滚轮，滚轮对中的滚轮组件在回转气缸的驱动下在垂直于Z轴传输机构的平面内沿其中心轴转动；传输机构、升降机构、夹持机构和传感器均与控制器电性连接；本实用新型具有结构紧凑，设计合理，节省空间，操控简单，加工精度高，能耗低，生产效率高，安全性能好，省时省力，实现完全自动化搬运坩埚设备。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	内蒙古;15
申请人：	内蒙古欧晶科技股份有限公司
发明人：	章北铭;于学敏;杜兴林;于宏宇;温存元;王建龙;祝立君;周鼎军;谷秀慧
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201822232800.2
公开号：	CN209567526U
代理机构：	北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	刘洪勋
分类号：	B65G47/90(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	010070 内蒙古自治区呼和浩特市金桥开发区世纪十八路
主权项：	1.一种石英坩埚搬运机器人装置，其特征在于，包括机架，设置于机架上的传输机构、升降机构、夹持机构和传感器，以及控制器；所述传输机构包括依次连接的X轴传输机构、Z轴传输机构和Y轴传输机构；所述夹持机构与Y轴传输机构滑动连接且通过气缸一驱动，包括两个相对设置的滚轮组件和设置于滚轮组件外侧的回转气缸，所述滚轮组件包括至少一对滚轮，所述滚轮对中的滚轮组件在回转气缸的驱动下在垂直于Z轴传输机构的平面内沿其中心轴转动；所述传输机构、升降机构、夹持机构和传感器均与控制器电性连接。 2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚搬运机器人装置，其特征在于，所述X轴传输机构水平设置于机架上，包括若干同步传送的传送带一，所述传送带一之间相互平行且间隔开，用于实现水平传动。 3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚搬运机器人装置，其特征在于，所述Y轴传输机构包括与Z轴传输机构垂直连接的Y轴固定台和与Y轴固定台滑动配合的Y轴滑台，所述Y轴滑台由气缸二驱动，用于带动夹持机构沿垂直于X轴传输机构传动方向的Y轴固定台的轨道内左右运动。 4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚搬运机器人装置，其特征在于，所述Y轴滑台两侧设有互不连接且与滚轮组件相配合的滑轨。 5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚搬运机器人装置，其特征在于，所述Z轴传输机构设置于X轴传输机构两侧，包括设置于链条轨道内的链条和用于架设链条的链轮，所述链轮由电机驱动，用于带动链条使Y轴传输机构沿垂直于X轴传输机构传动方向的链条轨道上下运动。 6.根据权利要求4所述的一种石英坩埚搬运机器人装置，其特征在于，夹持机构还包括设置于Y轴滑台内沿夹持机构运动方向布置的传送带二，所述滚轮组件分别与传送带二的上下带面相连，用于通过气缸一驱动实现两滚轮组件在传动带二转动下动作同步。 7.根据权利要求1所述的一种石英坩埚搬运机器人装置，其特征在于，所述升降机构设在所述传输机构底部间隔内，用于将坩埚托起至夹持机构。 8.根据权利要求7所述的一种石英坩埚搬运机器人装置，其特征在于，所述升降机构包括设置于托辊支架上的托辊和用于导向的直线轴承，所述托辊支架和托辊由气缸驱动。
所属类别：	实用新型