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原文传递致动传感模块

专利名称：	致动传感模块
摘要：	本案提供一种致动传感模块，包含：第一基板，设有控制电路；第二基板，具有气体入口及气体出口，第二基板与第一基板叠合后形成气体通道，气体入口、气体通道及气体出口相互连通以形成一气流回路；致动装置，设置于第二基板的气体出口，并电性连接控制电路；以及传感器，设置于气流回路中与气体入口错位设置并与致动装置间隔设置，传感器电性连接控制电路；透过驱动致动装置，将外界的气体经由气体入口导入气体通道，并使气体在流经传感器之后由气体出口排出，以供传感器对循环的气体进行监测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	研能科技股份有限公司
发明人：	莫皓然;陈世昌;黄启峰;韩永隆;郭俊毅
专利状态：	有效
申请日期：	2018-04-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201810391967.5
公开号：	CN110412210A
代理机构：	上海专利商标事务所有限公司
代理人：	喻学兵
分类号：	G01N33/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N33
申请人地址：	中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
主权项：	1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：一第一基板，设有至少一控制电路；一第二基板，具有一气体入口及一气体出口，该第二基板与该第一基板叠合后形成一气体通道，该气体入口、该气体通道及该气体出口相互连通以形成一气流回路；至少一致动装置，设置于该第二基板的该气体出口，并电性连接该至少一控制电路；以及至少一传感器，设置于该气流回路中与该气体入口错位设置且与该至少一致动装置间隔设置，该至少一传感器电性连接该至少一控制电路；其中，透过驱动该致动装置，将外界的一气体经由该气体入口导入该气体通道，并使该气体在流经该传感器之后由该气体出口排出，以供该传感器对循环的该气体进行监测。 2.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该至少一控制电路透过半导体制程设置于该第一基板，该至少一控制电路电性连接该致动装置及该传感器，以供该致动装置、该传感器获取驱动电源及计算处理该传感器所产生的感测数据。 3.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该至少一传感器透过半导体制程设置于该第一基板，且对应该气体出口设置。 4.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第一基板透过半导体制程成型一凹槽，该凹槽在该第一基板与该第二基板叠合之后，在该第一基板与该第二基板之间形成该气体通道。 5.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该至少一传感器包含一氧气传感器、一一氧化碳传感器、一二氧化碳传感器、一温度传感器、一臭氧传感器及一挥发性有机物传感器的至少其中之一或其组合。 6.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该致动装置为一微机电系统气体泵，该微机电系统气体泵包含：一入口板，具有至少一进气孔及一汇流腔室；一共振膜，为面型微加工技术制成的具挠性悬浮结构，具有一中空孔洞；一致动膜，为面型微加工技术制成的中空悬浮结构，具有一悬浮部、一外框部及至少一连接部，该至少一连接部在该悬浮部与该外框部之间定义至少一间隙；以及一压电膜，贴附于该悬浮部的一表面；其中，该入口板、该共振膜及该致动膜依序对应堆叠设置，且在该共振膜与该致动膜之间形成一压缩腔室，当该压电膜驱动该致动膜时，气体由该入口板的该至少一进气孔进入该汇流腔室，流经该共振膜的该中空孔洞进入该压缩腔室内，并由该至少一间隙排出，借此以将气体导入该气体通道的中。 7.如权利要求6所述的致动传感模块，其特征在于，该致动膜为一金属材料薄膜与一多晶硅薄膜中的一个。 8.如权利要求6所述的致动传感模块，其特征在于，该压电膜为一以溶胶凝胶法制成的金属氧化物薄膜。 9.如权利要求6所述的致动传感模块，其特征在于，该微机电系统气体泵为一体成型的结构。 10.如权利要求6所述的致动传感模块，其特征在于，该致动传感模块更包含至少一第一防护膜及一第二防护膜，该至少一第一防护膜封闭设置于该进气孔与该气体入口中的一个，该至少一第二防护膜封闭设置于该气体出口，且该至少一第一防护膜及该至少一第二防护膜均为防水、防尘且可供气体穿透的膜状结构。 11.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该致动装置为一共振式压电气体泵，该共振式压电气体泵包含：一入口板，具有至少一进气孔及一汇流腔室；一共振膜，为具有一中空孔洞的悬浮结构；一致动膜，为中空悬浮结构，具有一悬浮部、一外框部及至少一连接部，该至少一连结部在该悬浮部与该外框部之间定义至少一间隙；以及一压电膜，贴附于该悬浮部的一表面；其中，该入口板、该共振膜及该致动膜依序对应堆叠设置，且在该共振膜与该致动膜之间形成一压缩腔室，当该压电膜驱动该致动膜时，气体由该入口板的该至少一进气孔进入该汇流腔室，流经该共振膜的该中空孔洞进入该压缩腔室内，并由该至少一间隙排出，借此以将气体导入该气体通道的中。 12.如权利要求11所述的致动传感模块，其特征在于，该致动传感模块更包含至少一第一防护膜及一第二防护膜，该至少一第一防护膜封闭设置于该进气孔与该气体入口中的一者，该第二防护膜封闭设置于该气体出口，且该至少一第一防护膜及该第二防护膜均为防水、防尘且可供气体穿透的膜状结构。 13.如权利要求12所述的致动传感模块，其特征在于，该第一防护膜及该第二防护膜的防护等级为国际防护等级认证IP64的等级。 14.如权利要求12所述的致动传感模块，其特征在于，该第一防护膜及该第二防护膜的防护等级为国际防护等级认证IP65的等级。 15.如权利要求12所述的致动传感模块，其特征在于，该第一防护膜及该第二防护膜的防护等级为国际防护等级认证IP66的等级。 16.如权利要求12所述的致动传感模块，其特征在于，该第一防护膜及该第二防护膜的防护等级为国际防护等级认证IP67的等级。 17.如权利要求12所述的致动传感模块，其特征在于，该第一防护膜及该第二防护膜的防护等级为国际防护等级认证IP68的等级。
所属类别：	发明专利