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原文传递一种光腔衰荡光谱仪系统

专利名称：	一种光腔衰荡光谱仪系统
摘要：	一种光腔衰荡光谱仪系统，以提高光谱测量的灵敏度。所述系统包括：连续激光器、与连续激光器耦合的第一光分束镜、与第一光分束镜耦合的声光调制器和波长计、与声光调制器耦合的第二光分束镜、与第二光分束镜耦合的第三光分束镜、与第三光分束镜耦合的衰荡腔以及与衰荡腔、波长计和连续激光器耦合的计算机，衰荡腔的内部两端分别设置第一反射镜和第二反射镜，衰荡腔的输出端设置压电陶瓷管，压电陶瓷管经光电转换装置与计算机连接。本申请的技术方案可实现高精度的连续波长扫描，其光谱测量精度可达到10‑4cm‑1的水平，与现有技术相比，显著提高了光谱测量的灵敏度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳先进技术研究院
发明人：	冯伟;张艳辉;张晨宁;冯亚春;尹铎;刘笑
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201910641663.4
公开号：	CN110411960A
代理机构：	深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人：	李艳丽
分类号：	G01N21/31(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	518000 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
主权项：	1.一种光腔衰荡光谱仪系统，其特征在于，所述系统包括连续激光器、与所述连续激光器耦合的第一光分束镜、与所述第一光分束镜耦合的声光调制器和波长计、与所述声光调制器耦合的第二光分束镜、与所述第二光分束镜耦合的第三光分束镜、与所述第三光分束镜耦合的衰荡腔以及与所述衰荡腔、波长计和连续激光器耦合的计算机，所述衰荡腔的内部两端分别设置第一反射镜和第二反射镜，所述衰荡腔的输出端设置压电陶瓷管，所述压电陶瓷管经光电转换装置与所述计算机连接；所述连续激光器，用于在固体激光器的泵浦下产生连续激光后输出至所述第一光分束镜；所述第一光分束镜，用于将所述连续激光器产生的连续激光经折射和反射分成第一光束和第二光束，所述第一光束输出至所述声光调制器，所述第二光束输出至所述波长计；所述声光调制器，用于在声信号的调制下，将来自所述第一光束调制后得到已调光输出至所述第二光分束镜；所述第二光分束镜，用于将所述已调光反射后经透镜输出至所述第三光分束镜；所述第三光分束镜，用于将所述透镜输出的已调光经折射后输出至所述衰荡腔；所述衰荡腔，用于在所述第一反射镜和第二反射镜的作用下，对所述第三光分束镜输入的已调光进行衰荡后输出至所述光电转换装置；所述光电转换装置，用于将所述衰荡腔输出的衰荡光信号转换为电信号，所述电信号一路输出至所述声光调制器，另一路输出至所述计算机；所述压电陶瓷管，用于在函数发生器的作用下以预设频率振动，使所述衰荡腔的纵模能与所述第三光分束镜输入的已调光的频率相匹配。 2.如权利要求1所述的光腔衰荡光谱仪系统，其特征在于，衰荡腔设置一恒温气体通道，用于向所述衰荡腔输入恒温气体并从所述衰荡腔输出。 3.如权利要求1所述的光腔衰荡光谱仪系统，其特征在于，所述波长计用于对所述连续激光器产生的连续激光的波长进行监测，由此产生的监测信号输出至所述计算机。 4.如权利要求3所述的光腔衰荡光谱仪系统，其特征在于，所述计算机用于在所述光电转换装置输出的电信号和所述监测信号的作用下，控制所述连续激光器逐个扫描到激光频率处进行测量。 5.如权利要求1所述的光腔衰荡光谱仪系统，其特征在于，所述连续激光器为连续环形腔钛宝石激光器。 6.如权利要求1所述的光腔衰荡光谱仪系统，其特征在于，所述第一反射镜和第二反射镜的标称反射率为99.995％，曲率半径为1米。 7.如权利要求1所述的光腔衰荡光谱仪系统，其特征在于，所述预设频率为100赫兹。 8.如权利要求1所述的光腔衰荡光谱仪系统，其特征在于，所述衰荡腔的腔体长为1.25米。 9.如权利要求1至8任意一项所述的光腔衰荡光谱仪系统，其特征在于，所述系统还包括固体激光器，用于对所述连续激光器进行泵浦。 10.如权利要求9所述的光腔衰荡光谱仪系统，其特征在于，所述固体激光器的输出波长为532纳米。
所属类别：	发明专利