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原文传递一种精准的残余气体质谱分析系统

专利名称：	一种精准的残余气体质谱分析系统
摘要：	本实用新型涉及一种精准的残余气体质谱分析系统，包括前级泵、分子泵、质谱仪、操作平台，所述前级泵位于操作平台一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方，质谱仪前端和分子泵之间还设有气体管道，质谱仪前端淤积的气体通过气体管道进入到分子泵，质谱仪前级出口与分子泵之间设有前级管道，分子泵内的气体通过前级管道进入到前级泵。本实用新型实现了设备的一体化，使得气体分析更加方便，并且设备体积小、系统成套，无需组装其它辅助设备即可使用，让气体分析效率高、时间短，质谱仪前端不易淤积气体，分子泵内的气体易于排出。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	四川宏胜杰机电设备有限公司
发明人：	顾鹏
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201920323222.5
公开号：	CN209589927U
代理机构：	成都为知盾专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	李汉强
分类号：	G01N27/62(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	621000 四川省绵阳市绵山路64号(科学城八区民品综合楼207#)
主权项：	1.一种精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于：包括前级泵、分子泵、质谱仪、操作平台，所述前级泵位于操作平台一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方，质谱仪前端和分子泵之间还设有气体管道，质谱仪前端淤积的气体通过气体管道进入到分子泵，质谱仪前级出口与分子泵之间设有前级管道，分子泵内的气体通过前级管道进入到前级泵。 2.根据权利要求1所述的精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于，所述前级泵为隔膜泵。 3.根据权利要求1所述的精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于，所述前级泵和质谱仪前级出口通过波纹管连接。 4.根据权利要求3所述的精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于，所述波纹管和质谱仪前级出口连接处设有气动波纹管阀。 5.根据权利要求1所述的精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于，所述质谱仪和分子泵通过超高真空法兰连接。 6.根据权利要求1所述的精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于，所述操作平台下方设有电源，操作平台上设有控制阀组，控制阀组和电源电性连接。 7.根据权利要求6所述的精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于，所述控制阀组上连接有压力开关。 8.根据权利要求1所述的精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于，所述分子泵上还连接有吹扫阀，吹扫阀的另一端与真空压力表连接。 9.根据权利要求8所述的精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于，所述真空压力表上还安装有压力调节阀。 10.根据权利要求1所述的精准的残余气体质谱分析系统，其特征在于，所述气体管道包括前端接头、套管、手拧螺钉、回转接头、手拧螺母，前端接头和回转接头通过套管连接，手拧螺钉和手拧螺母分别位于回转接头两端。
所属类别：	实用新型