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原文传递传感器(尤其是烟尘传感器)以及用于生产传感器(尤其是烟尘传感器)的方法

专利名称：	传感器(尤其是烟尘传感器)以及用于生产传感器(尤其是烟尘传感器)的方法
摘要：	本发明涉及一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器(10)，尤其是烟尘传感器，其包括衬底(20)、形成于所述衬底(20)上且包括彼此交错的至少两个空间上分离的电极(31、32)的电极层(30)，其中至少一个覆盖层(40)形成于所述电极层(30)的背对所述衬底(20)的侧(35)上。根据本发明，多个开口(50)形成于所述覆盖层(40)中，所述开口至少部分暴露一个电极(31、32)的表面，尤其是所述至少两个电极(31、32)的表面。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	德国;DE
申请人：	贺利氏先进传感器技术有限公司
发明人：	T·艾斯慕斯;S·迭蒂曼;K·温兰德;C·尼克
专利状态：	有效
申请日期：	2017-12-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201780079623.4
公开号：	CN110402381A
代理机构：	北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人：	刘媛媛
分类号：	G01N15/06(2006.01);G;G01;G01N;G01N15
申请人地址：	德国克莱诺斯泰姆
主权项：	1.一种用于检测导电和/或可极化粒子的传感器(10)，尤其是烟尘传感器，其包括衬底(20)、形成于所述衬底(20)上的具有至少两个空间上分离且互相交错的电极(31、32)的电极层(30)，其中至少一个覆盖层(40)形成于所述电极层(30)的背对所述衬底(20)的侧(35)上，其特征在于多个开口(50)设置于所述覆盖层(40)中，所述开口暴露电极(31、32)的表面(35、36)的至少一部分，尤其是所述至少两个电极(31、32)的表面(35、36)的至少一部分。 2.根据权利要求1所述的传感器(10), 其特征在于所述开口(50)以槽的形状配置，其中所述开口的槽宽度优选地在1.0μm和50.0μm之间。 3.根据权利要求1或权利要求2所述的传感器(10)，其特征在于所述电极(31、32)分别包括多个纵向指状物部分(33、34)。 4.根据权利要求3所述的传感器(10)，其特征在于所述呈槽形式的开口(50)的纵向跨度(LO)在配置上平行和/或垂直于所述指状物部分(33、34)的纵向跨度(LE)，其中所有所述呈槽形式的开口(50)的所述纵向跨度(LO)优选地在配置上彼此平行。 5.根据权利要求3或权利要求4所述的传感器(10)，其特征在于所述开口(50)暴露所述指状物部分(33、34)的所述侧面(36)的至少一部分和/或所述指状物部分(33、34)的所述上侧(35)的至少一部分。 6.根据权利要求5所述的传感器(10)，其特征在于所述开口(50)暴露所述指状物部分(33、34)的所述上侧(35)的边缘区(39)的至少若干部分。 7.根据前述权利要求中任一权利要求所述的传感器(10)，其特征在于所述暴露的电极部分的表面(35、36)的至少若干部分涂覆有玻璃纤维和/或粒子，尤其是涂覆有Al2O3和/或SiO2粒子。 8.根据前述权利要求中任一权利要求所述的传感器(10)，其特征在于至少一个电极(31、32)由铂形成。 9.一种用于生产根据权利要求1至8中任一权利要求所述的传感器(10)的方法，其特征在于所述方法的以下步骤： a)提供衬底(20)， b)在所述衬底(20)上形成具有至少两个空间上分离且互相交错的电极(31、32)的电极层(30)， c)将覆盖层(40)施加到所述电极层(30)， d)使用激光将开口(50)，尤其是呈槽形式的开口(50)，引入到所述覆盖层(40)中，引入方式为使得至少一个电极(31、32)的表面(35、36)的至少一部分暴露。 10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于在步骤d)中使用超短脉冲激光。 11.根据权利要求9或权利要求10所述的方法，其特征在于在步骤b)中，首先将平面电极层(30)施加到所述衬底(20)，且随后将所述电极层(30)结构化。 12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于使用激光，尤其是使用超短脉冲激光，执行所述电极层(30)的结构化。 13.根据权利要求9或权利要求10所述的方法，其特征在于在步骤b)中，通过丝网印刷产生结构化的电极层(30)。 14.根据权利要求9至13中任一权利要求所述的方法，其特征在于在步骤c)中，使用丝网印刷或使用热蒸镀或使用气溶胶沉积方法施加所述覆盖层(40)。 15.一种根据权利要求1至8中任一权利要求所述的传感器(10)的用途，其用于检测导电和/或可极化粒子，尤其是用于检测烟尘粒子。
所属类别：	发明专利