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基于WO3/Pd复合膜的锥型光纤光栅氢气传感器
| 专利名称： | 基于WO3/Pd复合膜的锥型光纤光栅氢气传感器 |
| 摘要： | 本实用新型公开了基于WO3/Pd复合膜的锥型光纤光栅氢气传感器，由光纤光栅解调仪、计算机、气体流量控制阀、气室、氢气瓶、氮气瓶、WO3/Pd复合膜、光纤耦合器、氢气检测仪、光纤、参考光栅、锥型光纤光栅、光纤光栅、光源；其中锥型光纤光栅上面镀有WO3/Pd复合膜。采用射频溅射技术向锥型光纤光栅溅5nm WO3薄膜,再利用共溅射技术溅射5nm WO3/Pd混合膜,最后用直流溅射技术溅射30nm的Pd薄膜。WO3/Pd复合薄膜具有较好的机械性能，提高光纤光栅氢气传感器的性能。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 中国计量大学 |
| 发明人： | 陈宏晨;沈常宇 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-01-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-12T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201920051082.0 |
| 公开号： | CN209624386U |
| 分类号： | G01N21/41(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 310018浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号 |
| 主权项： | 1.基于WO3/Pd复合膜的锥型光纤光栅氢气传感器，由光纤光栅解调仪（1），计算机（2）， 气体流量控制阀（3），气室（4），光纤耦合器（5），氢气瓶（6），氮气瓶（7），WO3/Pd复合膜（8），光纤（9），参考光栅（10），锥型光纤光栅（11），光纤光栅（12），光源（13）组成；其特征在于：计算机（2）与光纤光栅解调仪（1）右端连接，光纤光栅解调仪（1）左端与光纤耦合器（5）右端连接，光纤耦合器（5）左端与光纤（9）右端连接，光纤（9）左端与参考光栅（10）右端连接，参考光栅（10）的中心波长为1550nm，参考光栅（10）端与锥型光纤光栅（11）右端连接，锥型光纤光栅（11）中心波长为1299.576nm，镀有WO3/Pd复合膜（8），WO3/Pd复合膜（8）的厚度为40nm，锥型光纤光栅（11）左端与光纤光栅（12）右端连接，光纤光栅（12）的中心波长为1540nm，光纤光栅（12）表面镀有Pd/Au 复合膜，Pd/Au复合膜的厚度为200nm，光纤光栅（12）左端与光源（13）连接, 气室（4）与氢气瓶（6）和氮气瓶（7）连接。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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