专利名称: |
结构照明成像系统 |
摘要: |
本公开涉及结构照明成像系统。本公开提供了结构照明显微术(SIM)成像系统。在一组实现方式中,SIM成像系统可以被实现为多臂SIM成像系统,由此,系统的每个臂包括光发射器和具有相对于系统的光轴的特定的固定取向的分束器(例如透射式衍射光栅)。在第二组实现方式中,SIM成像系统可以被实现为多分束器滑动SIM成像系统,其中一个线性运动台安装有具有相对于系统的光轴的相应的固定取向的多个分束器。在第三组实现方式中,SIM成像系统可以被实现为图样角度空间选择SIM成像系统,由此,固定的二维衍射光栅与空间滤波器轮结合来使用,以在样品上投射一维条纹图样。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
美国;US |
申请人: |
伊鲁米那股份有限公司 |
发明人: |
彼得·克拉克·纽曼;达尼洛·孔代洛;吕少平;西蒙·普林斯;莫瑞克·C·萧;斯坦利·S·洪;亚伦·刘;G·M·斯金纳;杰伦特·温·埃文斯 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2019-01-15T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-11-19T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201920062986.3 |
公开号: |
CN209656566U |
代理机构: |
北京安信方达知识产权代理有限公司 |
代理人: |
张瑞;杨明钊 |
分类号: |
G01N21/64(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: |
美国加利福尼亚州 |
主权项: |
1.一种结构照明成像系统,包括: 光发射器,其发射光; 线性运动台,其安装有第一分束器和第二分束器,其中所述第一分束器分离由所述光发射器发射的光以将第一多个条纹投射在样品的平面上,其中所述第二分束器分离由所述光发射器发射的光以将第二多个条纹投射在所述样品的平面上;以及 图像传感器,其收集由所述样品发射的光。 2.根据权利要求1所述的结构照明成像系统,其中所述线性运动台是一维线性运动台,其中所述线性运动台沿着一个维度平移以将所述第一分束器和所述第二分束器中的每一个光学地耦合到所述光发射器,其中所述第一分束器沿着所述一个维度与所述第二分束器相邻。 3.根据权利要求2所述的结构照明成像系统,其中所述第一分束器包括第一透射式衍射光栅,以及其中所述第二分束器包括第二透射式衍射光栅。 4.根据权利要求3所述的结构照明成像系统,其中所述第一透射式衍射光栅和所述第二透射式衍射光栅从所述一个维度成角度地偏移。 5.根据权利要求4所述的结构照明成像系统,其中所述第一透射式衍射光栅和所述第二透射式衍射光栅被集成到安装在所述线性运动台上的单个光学元件中。 6.根据权利要求5所述的结构照明成像系统,其中所述单个光学元件包括被图样化有所述第一透射式衍射光栅的第一侧和与所述第一侧相邻的被图样化有所述第二透射式衍射光栅的第二侧。 7.根据权利要求4所述的结构照明成像系统,其中所述第一透射式衍射光栅和所述第二透射式衍射光栅从所述一个维度成角度地偏移大约±45度。 8.根据权利要求7所述的结构照明成像系统,其中所述第一多个条纹在所述样品的平面上从所述第二多个条纹成角度地偏移约90度。 9.根据权利要求8所述的结构照明成像系统,其中所述样品包括以矩形阵列或六边形阵列有规则地图样化的多个特征。 10.根据权利要求4所述的结构照明成像系统,还包括:用于阻挡由所述第一透射式衍射光栅和所述第二透射式衍射光栅中的每一个发射的零级光的一个或更多个光束阻挡器。 11.根据权利要求4所述的结构照明成像系统,还包括:将所述第一多个条纹和所述第二多个条纹中的每个投射在所述样品上的物镜。 12.根据权利要求11所述的结构照明成像系统,还包括:在所述线性运动台和所述物镜之间的光路中的投影透镜,其中所述投影透镜将所述第一透射式衍射光栅和所述第二透射式衍射光栅中的每一个的傅立叶变换投射到所述物镜的入射光瞳中。 13.根据权利要求3所述的结构照明成像系统,还包括:在安装在所述线性运动台上的部件上形成的对准图样,其中所述对准图样分离由所述光发射器发射的光以将图样投射在所述样品的平面上以用于成像对准。 14.根据权利要求13所述的结构照明成像系统,其中所投射的图样包括具有比所投射的第一多个条纹和第二多个条纹低的频率的线,其中所述对准图样被形成在包括所述第一透射式衍射光栅和所述第二透射式衍射光栅中的至少一个的基板上。 15.根据权利要求1所述的结构照明成像系统,还包括:使投射在所述样品的平面上的所述第一多个条纹和所述第二多个条纹相移的光学相位调制器,其中所述光学相位调制器是与所述线性运动台分离的部件。 |
所属类别: |
实用新型 |