专利名称: |
一种单晶硅运送托架 |
摘要: |
本实用新型公开了一种单晶硅运送托架,包括底盘、转盘和单晶硅片,底盘下表面两端均固定连接有一对脚轮,底盘上表面一端固定连接有一对推杆,两个推杆顶端之间水平固定连接有把手,把手表面两端均固定套有耐磨套,本实用新型的有益效果是:通过电机驱动带动直齿条与齿轮啮合运动,便于实现转盘的180°旋转,从而方便两个托盘轮换上料使用,提高了工作效率,减少了单晶硅片上料加工的时间;利用电机驱动带动凸轮旋转180°,在限位杆的作用下,顶杆顶起顶板上下移动,从而实现每个升降杆插入导向孔后使得单晶硅片悬空,方便加工设备的机械手臂取走单晶硅片,取料更加方便,替代人工取料的手段,更加自动化。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
上海;31 |
申请人: |
上海合晶硅材料有限公司 |
发明人: |
邓彩莲 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2019-01-28T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-11-22T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201920145961.X |
公开号: |
CN209668204U |
代理机构: |
上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) |
代理人: |
张恒 |
分类号: |
B65G47/82(2006.01);B;B65;B65G;B65G47 |
申请人地址: |
201617 上海市松江区贵南路500号 |
主权项: |
1.一种单晶硅运送托架,包括底盘(1)、转盘(9)和单晶硅片(13),其特征在于,所述底盘(1)下表面两端均固定连接有一对脚轮(2),所述底盘(1)上表面一端固定连接有一对推杆(3),两个所述推杆(3)顶端之间水平固定连接有把手(4),所述把手(4)表面两端均固定套有耐磨套(14),所述把手(4)表面且位于两个耐磨套(14)之间通过固定套垂直固定连接有控制面板(5),所述底盘(1)上表面另一端垂直固定连接有一对撑板(8),两个所述撑板(8)上表面之间活动连接有转盘(9),所述转盘(9)下表面正中间垂直固定连接有支撑轴(16),所述支撑轴(16)底端活动连接在底盘(1)上表面内部,所述支撑轴(16)表面底部水平固定套有齿轮(17),所述齿轮(17)一侧啮合连接有直齿条(18),所述直齿条(18)底面滑动连接在底盘(1)上表面内部,所述底盘(1)上表面且位于两个推杆(3)之间水平固定连接有第一电机(6),所述第一电机(6)输出端通过联轴器传动连接有丝杆(7),所述丝杆(7)穿过直齿条(18)且与直齿条(18)螺纹连接,所述底盘(1)远离控制面板(5)一端侧面中部固定连接有插头(10),所述转盘(9)上表面垂直固定连接有一对凹形架(11),两个所述凹形架(11)位于凹形槽上表面均固定连接有第二电机(20),两个所述第二电机(20)输出端均通过联轴器传动连接有转轴(21),两个所述转轴(21)表面均垂直固定连接有凸轮(22),两个所述凸轮(22)正上方均设有顶杆(23),两个所述顶杆(23)底端均活动连接有定滑轮(24),两个所述定滑轮(24)均与对应凸轮(22)相切滑动,两个所述顶杆(23)一侧面均活动连接有一对限位杆(25),每个所述限位杆(25)远离顶杆(23)一端均活动连接在凹形架(11)的凹形槽内侧壁上,两个所述顶杆(23)顶端均水平固定连接有顶板(26),两个所述顶板(26)两端均滑动连接在凹形架(11)的凹形槽内侧壁上,两个所述顶板(26)上表面均垂直固定连接有多个升降杆(27),两个所述凹形架(11)顶端均滑动连接有托盘(12),两个所述托盘(12)上表面内部均设有多个摆放槽(30),每个所述摆放槽(30)内部均放置有单晶硅片(13),每个所述升降杆(27)均穿过托盘(12)且顶端与托盘(12)相贴,所述控制面板(5)与第一电机(6)、插头(10)以及第二电机(20)均电性连接。 2.根据权利要求1所述的一种单晶硅运送托架,其特征在于,两个所述推杆(3)均与底盘(1)呈75°固定连接。 3.根据权利要求1所述的一种单晶硅运送托架,其特征在于,两个所述撑板(8)上表面内部与转盘(9)活动连接处均设有弧形转槽(15)。 4.根据权利要求1所述的一种单晶硅运送托架,其特征在于,所述底盘(1)上表面内部且与直齿条(18)滑动连接处设有限位滑槽(19)。 5.根据权利要求1所述的一种单晶硅运送托架,其特征在于,两个所述凹形架(11)的凹形槽上表面内部且位于凸轮(22)正下方均设有弧形凹槽(29)。 6.根据权利要求1所述的一种单晶硅运送托架,其特征在于,所述两个所述托盘(12)下表面两端与凹形架(11)滑动连接处均固定连接有T型滑块(28)。 7.根据权利要求1所述的一种单晶硅运送托架,其特征在于,每个所述摆放槽(30)四端内部均设有导向孔(31)。 |
所属类别: |
实用新型 |