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原文传递能够自动聚焦的检测装置及相应的自动聚焦方法

专利名称：	能够自动聚焦的检测装置及相应的自动聚焦方法
摘要：	本发明提供一种自动聚焦的检测装置及自动聚焦方法，其中检测装置，包括激光发射源、检测芯片、物镜，物镜处于激光发射源与检测芯片之间，用于将平行光束聚焦；光强度检测模块，与物镜相对设置，以接收并检测平行光束经过物镜及检测芯片后的光强度；运算控制模块，与光强度检测模块通讯连接，用于接收光强度检测模块检测到的信号并进行运算获取光强度变化范围；物镜高度调整部件，与运算控制模块控制连接，以获取光强度变化范围并根据光强度变化范围调整物镜与检测芯片之间的相对高度，以使平行光束聚焦于检测区域平面上。本发明通讯数据量相对较小，对设备的硬件及软件要求相对较低，能够节约制造及使用成本。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	新羿制造科技(北京)有限公司
发明人：	苏世圣;杜晓纯;程昕;刘晓彬;白宇;郭永
专利状态：	有效
申请日期：	2019-09-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-22T00:00:00+0800
申请号：	CN201910829980.9
公开号：	CN110487725A
分类号：	G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	102200 北京市昌平区科技园区超前路甲1号8号楼101室
主权项：	1.一种能够自动聚焦的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：激光发射源(1)，用于产生平行光束；检测芯片(2)，其上具有检测区域平面，所述检测区域平面上构造有检测沟道(21)，其在水平方向上相对于所述激光发射源(1)的位置能够被调整；物镜(3)，其处于所述激光发射源(1)与所述检测芯片(2)之间，用于将所述平行光束聚焦；光强度检测模块(4)，其与所述物镜(3)相对设置，以接收并检测所述平行光束经过所述物镜(3)及检测芯片(2)后的光强度；运算控制模块，其与所述光强度检测模块(4)通讯连接，用于接收所述光强度检测模块(4)检测到的信号并进行运算获取光强度变化范围；物镜高度调整部件，其与所述运算控制模块控制连接，以获取所述光强度变化范围并根据所述光强度变化范围调整所述物镜(3)与所述检测芯片(2)之间的相对高度，以使所述平行光束聚焦于所述检测区域平面上。 2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述物镜高度调整部件包括第一步进电机，所述第一步进电机的输出轴与第一丝杆同轴连接，所述物镜通过安装连接件螺纹连接在所述第一丝杆上。 3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，还包括芯片位置调整部件，所述芯片位置调整部件包括用于承载所述检测芯片(2)的载物台以及用于驱动所述载物台在水平方向往复运动的驱动部件。 4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述驱动部件包括第二步进电机，所述第二步进电机的输出轴与第二丝杆同轴连接，所述载物台螺纹连接在所述第二丝杆上。 5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，还包括主控部件，所述主控部件与所述运算控制模块通讯连接，以接受所述运算控制模块的控制指令，且所述主控部件还与所述第一步进电机、第二步进电机通讯连接，以控制所述第一步进电机、第二步进电机运转。 6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括滤波片，所述滤波片设置于所述光强度检测模块(4)的检测端处。 7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述激光发射源(1)包括能够产生单色激光的激光器。 8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测芯片(2)为半透明或全透明材质。 9.一种自动聚焦方法，其特征在于，包括以下步骤：实时检测并记录检测芯片(2)直线运动过程中的光强度变化范围；当所述检测芯片(2)后一次直线运行过程中的光强度变化范围大于前一次直线运行过程中的光强度变化范围时，控制物镜(3)朝向所述检测芯片(2)一侧运动，直至所述检测芯片(2)后一次直线运行过程中的光强度变化范围小于前一次直线运行过程中的光强度变化范围时，控制物镜(3)停止朝向所述检测芯片(2)一侧运动；当所述检测芯片(2)后一次直线运行过程中的光强度变化范围小于前一次直线运行过程中的光强度变化范围时，控制物镜(3)远离所述检测芯片(2)一侧运动，并定位所述物镜(3)处于前一次直线运行过程中物镜(3)所处的位置。 10.根据权利要求7所述的自动聚焦方法，其特征在于，所述直线运动包括沿第一方面的直线运动及沿第二方向的直线运动，所述第一方向与所述第二方向相反。
所属类别：	发明专利