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一种基于怀特腔的微量气体检测传感器
| 专利名称： | 一种基于怀特腔的微量气体检测传感器 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于怀特腔的微量气体检测传感器，包括壳体、第一底座、第二底座、三个凹面反射镜；壳体内设有长条形中空腔体，长条形中空腔体的一端被第一底座密封，长条形中空腔体的另一端被第二底座密封；三个凹面反射镜为同焦距凹面反射镜；其中一个凹面反射镜固定在第一底座上，另外两个凹面反射镜固定在第二底座上，第一底座上设置有光源凹槽、探测器凹槽，光源凹槽、探测器凹槽分别对应位于第一底座上的凹面反射镜上方与下方。通过在气室内设置三个同焦距凹面反射镜，并将光源凹槽、探测器凹槽设置在气室同一侧，极大提高了气室的空间利用率，大幅度增加光程长度，使测量精度达到ppb量级，满足市场发展需求。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 深圳市美克森电子有限公司 |
| 发明人： | 陈立强;张金鑫 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-03-13T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-19T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201920322342.3 |
| 公开号： | CN209656544U |
| 代理机构： | 深圳市鼎泰正和知识产权代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 代春兰 |
| 分类号： | G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室 |
| 主权项： | 1.一种基于怀特腔的微量气体检测传感器，其特征在于，包括壳体、第一底座、第二底座、三个凹面反射镜；所述壳体内设有长条形中空腔体，所述长条形中空腔体的一端被第一底座密封，长条形中空腔体的另一端被第二底座密封，以形成用于作为检测气体的气室；所述三个凹面反射镜均位于气室内，分别为第一凹面反射镜、第二凹面反射镜、第三凹面反射镜；所述第一凹面反射镜、第二凹面反射镜、第三凹面反射镜为三个同焦距凹面反射镜；所述第一凹面反射镜的凹面反射面积大于第二凹面反射镜与第三凹面反射的凹面反射面积之和；所述第一凹面反射镜固定在第一底座上，所述第二凹面反射镜、第三凹面反射镜均固定在第二底座上，所述第一底座上设置有光源凹槽、探测器凹槽，所述光源凹槽、探测器凹槽分别对应位于第一凹面反射镜的上方与下方。 2.如权利要求1所述的微量气体检测传感器，其特征在于，所述壳体一端设有第一底座安装槽，所述壳体另一端设有第二底座安装槽。 3.如权利要求1所述的微量气体检测传感器，其特征在于，所述第一底座、第二底座与壳体连接处设有密封圈。 4.如权利要求1所述的微量气体检测传感器，其特征在于，所述壳体侧壁上开设有进气孔和出气孔。 5.如权利要求1所述的微量气体检测传感器，其特征在于，所述光源凹槽内安装有光源。 6.如权利要求1所述的微量气体检测传感器，其特征在于，所述探测器凹槽内安装有探测器。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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