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原文传递金相显微镜矩阵归一化校正方法

专利名称：	金相显微镜矩阵归一化校正方法
摘要：	本发明属于金相分析技术领域，特别涉及一种金相显微镜矩阵归一化校正方法，适用于多个金相显微镜同时工作的大面积样品快速金相分析。该金相显微镜矩阵由i×j个金相显微镜组成，将待分析样品表面分割成多个区域，i×j个金相显微镜同时对样品表面进行显微放大、聚焦拍照；通过对标准化样品进行九点采集、十字运行轨迹计算每个金相显微镜的C’ij的安装位置与运动方向的角度偏差αij、坐标偏差(Δxij，Δyij)以及表观长度偏差Δli，实现金相显微镜矩阵的校正。采用本发明能很好的快速解决多金相显微镜之间的位置、角度、放大倍率差异性问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	钢研纳克检测技术股份有限公司
发明人：	袁良经;贾云海;张翘楚;于雷;张纯岩
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-15T00:00:00+0800
申请号：	CN201910699157.0
公开号：	CN110455797A
代理机构：	北京中安信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	李彬;张小娟
分类号：	G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	100081北京市海淀区高粱桥斜街13号
主权项：	1.一种金相显微镜矩阵归一化校正方法，该金相显微镜矩阵由i×j个金相显微镜组成，其特征在于：所述校正方法包括如下步骤： (1)用激光器在经抛光制样后的样品上激发一次，形成斑点；将样品放置在金相显微镜矩阵下方，并调整焦距使金相显微镜矩阵聚焦在样品表面； (2)将斑点中心移动至金相显微镜矩阵的任意一个金相显微镜C’ij(i＝0,1,2,…m；j＝0,1,2,…n)所对应的显微相机的中心处，采集图像，并通过最小外接矩形法求取并记录斑点中心坐标；在样品表面，以该坐标点为原点，在所选定的金相显微镜C’ij的平面直角坐标系的X正轴和负轴上分别间隔一定距离选定多对相互对称的坐标点，在Y正轴和负轴上分别间隔一定距离选定多对相互对称的坐标点；将所有坐标点按一定顺序依次移动到所选定的金相显微镜C’ij所对应的显微相机的中心处，采集图像，并通过最小外接矩形法求取各坐标点的斑点中心坐标；根据所得各坐标点的斑点中心坐标值，计算所选的金相显微镜C’ij的安装位置与运动方向的角度偏差α’ij、表观长度l’i和坐标值(x’ij，y’ij)； (3)采用与步骤(2)相同的方式遍历金相显微镜矩阵的所有金相显微镜，获得所有金相显微镜的安装位置与运动方向的角度偏差αij、表观长度li和坐标值(xij，yij)； (4)将步骤(2)所选定的金相显微镜C’ij的表观长度l’i归一为1微米/像素；L’i＝k×l’i；式中，L’i为归一后的表观长度，k为归一系数，l’i为所选定的金相显微镜C’ij的表观长度； (5)以所选定的金相显微镜C’ij为标准，通过如下公式计算金相显微镜矩阵中每个金相显微镜的坐标偏差(Δxij，Δyij)以及表观长度偏差Δli； Δxij＝xij-x’ij； Δyij＝yij-y’ij； Δli＝li/L’i＝li/(k×l’i)； (6)保存各金相显微镜的安装位置与运动方向的角度偏差αij、坐标偏差(Δxij，Δyij)以及表观长度偏差Δli，实现金相显微镜矩阵的校正。 2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(1)中，用激光器在样品的中心点处激发形成光斑。 3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(2)中，通过所选定的金相显微镜C’ij的平面直角坐标系的X轴上的间隔最远的两个坐标点对应的两个斑点中心坐标计算表观长度l’i。 4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(2)中，通过所选定的金相显微镜C’ij的平面直角坐标系的X轴上的所有坐标点对应的纵坐标的平均值计算所选定的金相显微镜C’ij的纵坐标y’ij。 5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(2)中，通过所选定的金相显微镜C’ij的平面直角坐标系的Y轴上的所有坐标点对应的横坐标的平均值计算所选定的金相显微镜C’ij的横坐标x’ij。 6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(2)中，选定第一个金相显微镜C00作为校正基准。 7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤(2)中，斑点中心坐标记为M30(x1,y1)，以该坐标点M30为原点，在样品表面选定九个坐标点：M10(x1-2000,y1)、M20(x1-1000,y1)、M30(x1,y1)、M40(x1+1000,y1)、M50(x1+2000,y1)、M31(x1,y1-500)、M32(x1,y1-1000)、M33(x1,y1+500)、M34(x1,y1+1000)，坐标点单位为微米。 8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：所述步骤(2)中，按M10→M20→M30→M40→M50→M32→M31→M33→M34的顺序求取各坐标点的斑点中心坐标。 9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：所述步骤(2)中，通过M10、M50坐标对应的中心点坐标计算M10、M50两点间的距离，即为所选定的金相显微镜的表观长度；通过M10、M20、M30、M40、M50坐标对应的纵坐标的平均值计算所选定的金相显微镜的纵坐标；通过M32、M31、M30、M33、M34坐标对应的横坐标的平均值计算所选定的金相显微镜的横坐标。
所属类别：	发明专利