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原文传递一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统

专利名称：	一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统
摘要：	本发明公开了一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，包括从前往后顺次设置的泵浦光源、泵浦光调制装置、第一分束合束器，第二分束合束器，显微成像透镜、用于驱动待测样品移动的样品扫描运动装置，设置于第一分束合束器前端的探测光源，固定于切换机构上的探测光空间滤光器，以及位于探测光空间滤光器后端的光电探测器；切换机构带动探测光空间滤光器移入或移出第二分束合束器和光电探测器之间。本发明包含了激光诱导反射率显微成像和激光诱导表面热透镜显微成像两种观察模式，对不同样品的吸收分布、热导率、掺杂浓度、掺杂深度等多个参数进行检测分析，大大拓宽了光热显微成像系统的应用范围。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	合肥利弗莫尔仪器科技有限公司
发明人：	陈坚;韩成飞;马亮;吴周令
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-19T00:00:00+0800
申请号：	CN201910777138.5
公开号：	CN110470639A
代理机构：	合肥天明专利事务所(普通合伙)
代理人：	韩燕
分类号：	G01N21/55(2014.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	230031 安徽省合肥市高新区望江西路800号创新产业园C4楼206室
主权项：	1.一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：包括从前往后顺次设置的泵浦光源和泵浦光调制装置，以及探测光源，第一分束合束器，第二分束合束器，显微成像透镜，固定于切换机构上的探测光空间滤光器，光电探测器和用于驱动待测样品移动的样品扫描运动装置；所述的泵浦光调制装置出射的泵浦光束经第一分束合束器透射出，所述的探测光源出射的探测光束经第一分束合束器反射出，第一分束合束器透射出的泵浦光束和反射出的探测光束均经第二分束合束器透射出，第二分束合束器透射出的泵浦光束和探测光束均经显微成像透镜聚焦到样品扫描运动装置上的待测样品表面，待测样品表面反射的探测光束依次经显微成像透镜、第二分束合束器反射出，所述的切换机构为驱动机构，带动探测光空间滤光器移入或移出第二分束合束器和光电探测器之间，所述的第二分束合束器反射出的探测光束进入光电探测器实现激光诱导反射率显微成像，第二分束合束器反射出的探测光束经探测光空间滤光器进入光电探测器实现激光诱导表面热透镜成像。 2.根据权利要求1所述的一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：所述的泵浦光源和探测光源均为单色光源。 3.根据权利要求2所述的一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：所述的泵浦光源和探测光源均为激光光源。 4.根据权利要求1所述的一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：所述的样品扫描运动装置为横纵向水平移动机构，样品扫描运动装置带动待测样品进行横向或纵向的水平移动，让泵浦光源和探测光源的辐照点在待测样品表面进行二维逐点扫描。 5.根据权利要求1所述的一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：所述的光电探测器前设置有波长选择滤光装置。 6.根据权利要求1所述的一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：所述的泵浦光调制装置的后端设置有泵浦光扩束装置，所述的泵浦光扩束装置出射的泵浦光束经第一分束合束器透射出。 7.根据权利要求1所述的一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，其特征在于：所述的探测光源的后端设置有探测光扩束装置，所述的探测光扩束装置出射的探测光束经第一分束合束器反射出。
所属类别：	发明专利