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原文传递自动加工装置

专利名称：	自动加工装置
摘要：	通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片的自动加工装置具有：构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息；加工结束位置取得部，其取得指定与试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息；图像取得部，其取得通过对在试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的加工面图像；以及判定部，其根据由构造信息取得部取得的构造信息与由图像取得部取得的加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了结束位置。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	日本株式会社日立高新技术科学
发明人：	酉川翔太
专利状态：	有效
申请日期：	2018-03-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-22T00:00:00+0800
申请号：	CN201880020177.4
公开号：	CN110494733A
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	黄志坚;崔成哲
分类号：	G01N1/28(2006.01);G;G01;G01N;G01N1
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种自动加工装置，其通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片，其中，该自动加工装置具有：构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息；加工结束位置取得部，其取得指定与所述试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息；图像取得部，其取得加工面图像，该加工面图像是通过对在所述试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的；以及判定部，其根据由所述构造信息取得部取得的所述构造信息与由所述图像取得部取得的所述加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。 2.根据权利要求1所述的自动加工装置，其中，所述构造信息是对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像，所述判定部根据对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像与所述加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。 3.根据权利要求2所述的自动加工装置，其中，所述试样具有重复构造，所述构造信息是对加工前的所述试样的所述重复构造进行拍摄而得到的图像，所述加工结束位置取得部取得表示所述重复构造的重复数的信息作为所述结束位置指定信息，所述判定部根据对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像所示的所述重复构造的重复数与所述加工面图像所示的所述重复构造的重复数的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。 4.根据权利要求3所述的自动加工装置，其中，所述判定部根据对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像所示的所述重复构造的重复数与所述加工面图像所示的所述重复构造的剩余数的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。 5.根据权利要求3所述的自动加工装置，其中，所述判定部根据对加工前的所述试样进行拍摄而得到的图像所示的所述重复构造的重复数与在加工过程中在所述加工面图像依次出现的所述重复构造的变化数的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。 6.根据权利要求1所述的自动加工装置，其中，所述构造信息是指加工前的所述试样的设计信息，所述判定部根据加工前的所述试样的设计信息与所述加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了所述结束位置。
所属类别：	发明专利