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原文传递具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法

专利名称：	具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法
摘要：	本发明涉及一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，该方法包括：在直角棱镜和基底工装的辅助下依次车削加工待加工工件的各表面，在加工过程中利用光学探针在线检测待加工工件的厚度偏差和垂直角度偏差。与现有技术相比，本发明具有加工效率快、制作成本低、加工精度和可靠性高等优点。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	同济大学
发明人：	王占山;沈正祥;余俊
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-26T00:00:00+0800
申请号：	CN201910665874.1
公开号：	CN110497533A
代理机构：	上海科盛知识产权代理有限公司
代理人：	翁惠瑜
分类号：	B28D1/16(2006.01);B;B28;B28D;B28D1
申请人地址：	200092 上海市杨浦区四平路1239号
主权项：	1.一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，其特征在于，该方法包括：在直角棱镜和基底工装(1)的辅助下依次车削加工待加工工件(2)的各表面，在加工过程中利用光学探针(5)在线检测待加工工件(2)的厚度偏差和垂直角度偏差。 2.根据权利要求1所述的一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，其特征在于，该方法具体步骤为： S1：待加工工件(2)为立方体结构，各表面分别为第一面(201)、第二面(202)、第三面(203)、第四面(204)、第五面(205)和第六面(206)，其中第一面(201)与第二面(202)互为对面，第三面(203)与第四面(204)互为对面，第五面(205)与第六面(206)互为对面，用第一直角棱镜(3)和第二直角棱镜(4)辅助待加工工件(2)定位角度，结合基底工装(1)车削第一面(201)和第二面(202)； S2：用光学探针(5)在线检测加工件第一面(201)与第二面(202)的厚度偏差，检测完成后，将待加工工件(2)下盘待用； S3：使用第一直角棱镜(3)作为角度靠体，将直角面(301)与基底工装(1)贴合，将待加工工件(2)的第一面(201)与直角面(302)贴合； S4：结合基底工装(1)车削加工待加工工件(2)的第三面(203)； S5：用光学探针(5)沿规划路径在线检测第三面(203)和第二面(202)的垂直角度偏差，检测完成后，将待加工工件(2)下盘待用； S6：结合基底工装(1)车削加工待加工工件(2)的第四面(204)； S7：用光学探针(5)在线检测加工件第三面(203)与第四面(204)的厚度偏差，检测完成后，将待加工工件(2)下盘待用； S8：使用第一直角棱镜(3)和第二直角棱镜(4)作为角度靠体，将第二面(202)和第三面(203)与直角棱镜贴合； S9：结合基底工装(1)车削加工待加工工件(2)的第五面(205)； S10：用光学探针(5)沿规划路径在线检测第五面(205)和第一面(201)的垂直角度偏差，检测完成后，将待加工工件(2)下盘待用； S11：结合基底工装(1)车削加工待加工工件(2)的第六面(206)； S12：用光学探针(5)在线检测加工件第五面(205)与第六面(206)的厚度偏差，检测完成后，待加工工件(2)加工完成。 3.根据权利要求1或2所述的一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，其特征在于，车削所述待加工工件(2)的各表面时具体步骤为：将待加工面的对面粘至基底工装(1)上，然后将基底工装(1)与待加工工件(2)一同上盘，车削待加工面。 4.根据权利要求3所述的一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，其特征在于，将所述待加工面的对面粘贴在基底工装(1)上时使用的粘合剂为胶或蜂蜡。 5.根据权利要求1所述的一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，其特征在于，所述基底工装(1)为有一对面平行的金属柱体。 6.根据权利要求5所述的一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，其特征在于，所述基底工装(1)的平行对面的面形精度优于0.5μm。 7.根据权利要求1或2所述的一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，其特征在于，通过测试基底面与待加工面的距离进行所述厚度偏差的检测。 8.根据权利要求1或2或3所述的一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，其特征在于，车削所述待加工工件(2)的各表面时，每一个加工面的面形精度在0.2μm以内，粗糙度在4nm以内。 9.根据权利要求2所述的一种具有在线检测功能的立方体反射镜超精密车削加工方法，其特征在于，使用所述第一直角棱镜(3)和第二直角棱镜(4)辅助定位角度时，定位精度在15角秒以内。
所属类别：	发明专利