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原文传递激光式气体分析仪

专利名称：	激光式气体分析仪
摘要：	本发明提供一种提高了成分浓度的测定精度的激光式气体分析仪。激光式气体分析仪(100)具备：向测定对象气体照射激光(11a)的发光部(11)；对通过测定对象气体后的激光进行反射的反射部(28)；接收由反射部(28)反射的激光的光接收部(13)；控制发光部(11)并对来自光接收部(13)的输出信号进行处理的控制部(15)；具有供测定对象气体流入和流出的开口(22a、22b)的测定对象气体通过部(22)；填充有不含测定对象气体的吹扫气体的吹扫区域部(24)；以及具有能够让激光(11a)通过的开孔(26a)的隔壁部(26)，在隔壁部(26)的与发光部(11)相对的面形成有促进激光(11a)的散射的微小凹凸或实施了促进激光(11a)的散射或吸收的表面处理。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	横河电机株式会社
发明人：	海野裕作;松尾纯一
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-19T00:00:00+0800
申请号：	CN201910381958.2
公开号：	CN110470631A
代理机构：	上海专利商标事务所有限公司
代理人：	宋俊寅;张鑫
分类号：	G01N21/39(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本东京
主权项：	1.一种激光式气体分析仪，包括：发光部，所述发光部向测定对象气体照射激光；反射部，所述反射部对通过测定对象气体后的所述激光进行反射；光接收部，所述光接收部接收由所述反射部反射的所述激光；控制部，所述控制部控制所述发光部，并对来自所述光接收部的输出信号进行处理；筒状的测定对象气体通过部，所述测定对象气体通过部设置在所述发光部与所述反射部之间，并具有供测定对象气体流入和流出的开口；第一吹扫区域部，所述第一吹扫区域部设置在所述测定对象气体通过部的所述发光部侧，且填充有不包含测定对象成分的吹扫气体；以及第一隔壁部，所述第一隔壁部划定所述测定对象气体通过部与所述第一吹扫区域部之间的边界，并具有能够让所述激光通过的开孔，在所述第一隔壁部的与所述发光部相对的面，形成有促进所述激光的散射的微小凹凸、或者实施了促进所述激光的散射或吸收的表面处理。 2.如权利要求1所述的激光式气体分析仪，还包括：第二吹扫区域部，所述第二吹扫区域部设置在所述测定对象气体通过部的所述反射部侧，并填充有吹扫气体；以及第二隔壁部，所述第二隔壁部划定所述测定对象气体通过部与所述第二吹扫区域部之间的边界，并具有能够让所述激光通过的开孔，在所述第二隔壁部的与所述发光部相对的面，形成有促进所述激光发生散射的微小凹凸、或者实施了促进所述激光的散射或吸收的表面处理。 3.如权利要求1或2所述的激光式气体分析仪，其中，所述第一隔壁部的面的表面处理和所述第二隔壁部的面的表面处理中的至少一方是喷砂处理。 4.如权利要求1至3的任一项所述的激光式气体分析仪，其中，能够相对于所述第一隔壁部，在与光轴正交的方向上调整所述发光部的位置。
所属类别：	发明专利