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原文传递串扰检测

专利名称：	串扰检测
摘要：	本发明涉及串扰检测。一种用于检测串扰的方法可以包括：通过用第一倾斜光束照射晶片的关注区域(ROI)并收集从ROI反射的光来获取ROI的第一图像；通过用第二倾斜光束照射ROI并收集从ROI反射的光来获取ROI的第二图像；其中第一倾斜光束在晶片上的正交投影被定向到第二倾斜光束在晶片上的正交投影；以及检测出现在该区域的第一图像和该区域的第二图像中的至少一个中的串扰。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	以色列;IL
申请人：	康代有限公司
发明人：	德罗尔·科恩
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-22T00:00:00+0800
申请号：	CN201910398264.X
公开号：	CN110487813A
代理机构：	北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人：	陆建萍;杨明钊
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	以色列米得哈曼
主权项：	1.一种用于检测串扰的方法，所述方法包括：通过用第一倾斜光束照射晶片的关注区域(ROI)并收集从所述ROI反射的光来获取所述ROI的第一图像；通过用第二倾斜光束照射所述ROI并收集从所述ROI反射的光来获取所述ROI的第二图像；其中所述第一倾斜光束在所述晶片上的正交投影被定向到所述第二倾斜光束在所述晶片上的正交投影；以及检测出现在所述区域的第一图像和所述区域的第二图像中的至少一个中的串扰。 2.根据权利要求1所述的方法，其中所述串扰的所述检测包括从所述第一图像和所述第二图像中搜索实质上没有串扰的图像。 3.根据权利要求1所述的方法，包括继续获取所述ROI的附加图像，直到找到实质上没有串扰的图像为止，其中通过由倾斜辐射光束照射所述晶片的所述关注区域来获取所述附加图像，所述倾斜辐射光束具有在所述晶片上的被定向到彼此的正交投影。 4.根据权利要求1所述的方法，其中所述串扰的所述检测基于在所述第一图像和所述第二图像之间的比较。 5.根据权利要求4所述的方法，其中所述比较包括评估在所述第一图像中和在所述第二图像中的实质上相同的值的像素的空间分布之间的差异。 6.根据权利要求1所述的方法，包括在所述晶片和产生所述第一辐射光束和第二辐射光束的照射单元之间引入围绕被定向到所述晶片的轴的旋转运动；其中所述旋转运动的所述引入在所述ROI的第一图像的获取之后并且在获取所述ROI的第二图像之前被执行。 7.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一倾斜光束由第一照射单元产生，并且所述第二倾斜光束由第二照射单元产生。 8.根据权利要求1所述的方法，其中所述串扰的所述检测基于所述ROI的参考模型。 9.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一图像和所述第二图像嵌有高度信息，并且其中所述串扰的所述检测基于所述ROI的元件的预期高度值。 10.根据权利要求1所述的方法，其中用所述第一倾斜光束照射所述ROI包括用所述第一倾斜光束扫描所述ROI。 11.根据权利要求10所述的方法，其中所述第一倾斜光束在所述ROI上形成光斑。 12.根据权利要求10所述的方法，其中所述第一倾斜光束在所述ROI上形成线。 13.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一图像的获取包括利用三角测量系统。 14.根据权利要求1所述的方法，其中所述串扰的所述检测后面是生成所述ROI的估计。 15.根据权利要求1所述的方法，其中所述串扰的所述检测后面是生成所述ROI的三维估计。 16.一种存储指令的非暂态计算机可读介质，所述指令用于：通过用第一倾斜光束照射晶片的关注区域(ROI)并收集从所述ROI反射的光来获取所述ROI的第一图像；通过用第二倾斜光束照射所述ROI并收集从所述ROI反射的光来获取所述ROI的第二图像；其中所述第一倾斜光束在所述晶片上的正交投影被定向到所述第二倾斜光束在所述晶片上的正交投影；以及检测出现在所述区域的第一图像和所述区域的第二图像中的至少一个中的串扰。 17.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其中所述串扰的所述检测包括从所述第一图像和所述第二图像中搜索实质上没有串扰的图像。 18.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其存储指令，所述指令用于继续获取所述ROI的附加图像，直到找到实质上没有串扰的图像为止，其中通过由倾斜辐射光束照射所述晶片的所述关注区域来获取所述附加图像，所述倾斜辐射光束具有在所述晶片上的被定向到彼此的正交投影。 19.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其中所述串扰的所述检测基于在所述第一图像和所述第二图像之间的比较。 20.根据权利要求20所述的非暂态计算机可读介质，其中所述比较包括评估在所述第一图像中和在所述第二图像中的实质上相同的值的像素的空间分布之间的差异。 21.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其存储指令，所述指令用于在所述晶片和产生所述第一辐射光束和第二辐射光束的照射单元之间引入围绕被定向到所述晶片的轴的旋转运动；其中所述旋转运动的所述引入在所述ROI的第一图像的获取之后并且在获取所述ROI的第二图像之前被执行。 22.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其中所述第一倾斜光束由第一照射单元产生，并且所述第二倾斜光束由第二照射单元产生。 23.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其中所述串扰的所述检测基于所述ROI的参考模型。 24.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其中所述第一图像和所述第二图像嵌有高度信息，并且其中所述串扰的所述检测基于所述ROI的元件的预期高度值。 25.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其中用所述第一倾斜光束照射所述ROI包括用所述第一倾斜光束扫描所述ROI。 26.根据权利要求25所述的非暂态计算机可读介质，其中所述第一倾斜光束在所述ROI上形成光斑。 27.根据权利要求25所述的非暂态计算机可读介质，其中所述第一倾斜光束在所述ROI上形成线。 28.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其中所述第一图像的获取包括利用三角测量系统。 29.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其中所述串扰的所述检测后面是生成所述ROI的估计。 30.根据权利要求16所述的非暂态计算机可读介质，其中所述串扰的所述检测后面是生成所述ROI的三维估计。 31.一种包括成像器、光学单元、卡盘和处理器的评估系统；其中所述卡盘被构造成支撑晶片；其中所述光学单元被构造成：通过用第一倾斜光束照射晶片的关注区域(ROI)并收集从所述ROI反射的光来获取所述ROI的第一图像；通过用第二倾斜光束照射所述ROI并收集从所述ROI反射的光来获取所述ROI的第二图像；其中所述第一倾斜光束在所述晶片上的正交投影被定向到所述第二倾斜光束在所述晶片上的正交投影；以及其中所述处理器被配置为检测出现在所述区域的第一图像和所述区域的第二图像中的至少一个中的串扰。 32.根据权利要求31所述的评估系统，其中所述处理器被配置为通过从所述第一图像和所述第二图像中搜索实质上没有串扰的图像来检测所述串扰。 33.根据权利要求31所述的评估系统，包括继续获取所述ROI的附加图像，直到找到实质上没有串扰的图像为止，其中通过由倾斜辐射光束照射所述晶片的所述关注区域来获取所述附加图像，所述倾斜辐射光束具有在所述晶片上的被定向到彼此的正交投影。 34.根据权利要求31所述的评估系统，其中所述处理器被配置为：通过所述串扰是基于在所述第一图像和所述第二图像之间的比较，来检测所述串扰。 35.根据权利要求34所述的评估系统，其中所述比较包括评估在所述第一图像中和在所述第二图像中的实质上相同的值的像素的空间分布之间的差异。 36.根据权利要求31所述的评估系统，其中所述卡盘由平台支撑，所述平台被构造成在所述晶片和所述光学单元之间引入围绕被定向到所述晶片的轴的旋转运动；其中所述旋转运动的所述引入在所述ROI的第一图像的获取之后并且在获取所述ROI的第二图像之前被执行。 37.根据权利要求31所述的评估系统，其中所述第一倾斜光束由所述光学单元的第一照射单元产生，并且所述第二倾斜光束由所述光学单元的第二照射单元产生。 38.根据权利要求31所述的评估系统，其中所述处理器被配置为：通过所述串扰是基于所述ROI的参考模型，来检测所述串扰。 39.根据权利要求31所述的评估系统，其中所述第一图像和所述第二图像嵌有高度信息，并且其中所述处理器被配置为：通过所述串扰是基于所述ROI的元件的预期高度值，来检测所述串扰。 40.根据权利要求31所述的评估系统，其中所述光学单元被配置为通过用所述第一倾斜光束扫描所述ROI来用所述第一倾斜光束照射所述ROI。 41.根据权利要求40所述的评估系统，其中所述第一倾斜光束在所述ROI上形成光斑。 42.根据权利要求40所述的评估系统，其中所述第一倾斜光束在所述ROI上形成线。 43.根据权利要求31所述的评估系统，其中所述评估系统是三角测量系统。 44.根据权利要求31所述的评估系统，其中所述处理器被配置为：通过在所述串扰后面是生成所述ROI的估计，来检测所述串扰。 45.根据权利要求31所述的评估系统，其中所述处理器被配置为通过在所述串扰后面是生成所述ROI的三维估计，来检测所述串扰。
所属类别：	发明专利