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原文传递调节的空气表面颗粒检测器

专利名称：	调节的空气表面颗粒检测器
摘要：	一种用于对样本表面上的颗粒进行计数的装置包括：扫描器探针，其具有用于接收来自样本表面的颗粒的第一开口和一个或多个第二开口；颗粒检测器，其用于检测从其穿过的颗粒；调节器，其用于调节从其流过的空气；泵，其用于产生从所述第一开口流动并穿过所述颗粒检测器的第一气流，并且用于产生流动通过所述调节器并流向所述一个或多个第二开口的第二气流；以及控制电路，其用于控制所述调节器以调节所述第二气流的幅度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	五角技术集团有限公司
发明人：	D.布朗;D.卢茨;W.W.奥尔斯顿
专利状态：	有效
申请日期：	2018-01-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-03T00:00:00+0800
申请号：	CN201880010096.6
公开号：	CN110537086A
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	吴超;李建新
分类号：	G01N1/00(2006.01);G;G01;G01N;G01N1
申请人地址：	美国加利福尼亚州
所属类别：	发明专利