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一种靶材外观缺陷检测装置
| 专利名称： | 一种靶材外观缺陷检测装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材外观缺陷检测装置，其包括基座，基座上设置有用于承载定位靶材的定位装置、用于检测靶材平整度的检测装置和用于移动靶材检测装置的位移装置，检测装置包括用于检测靶材背面的背检相机、用于检测靶材正面的正检相机和用于检测靶材侧面的侧检相机，背检相机设置于定位装置下方，正检相机和侧检相机设置于定位装置上方，正检相机和侧检相机均与位移装置连接。本实用新型不仅结构简单、使用方便，而且能够一次实现靶材多个表面的同时检测。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 武汉精立电子技术有限公司 |
| 发明人： | 许锐;马燃;李锐 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-01-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-03T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201920153817.0 |
| 公开号： | CN209727792U |
| 代理机构： | 武汉开元知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 黄行军;高炳龙 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园南路22号 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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