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一种光学薄膜激光损伤阈值测试系统及其方法
| 专利名称： | 一种光学薄膜激光损伤阈值测试系统及其方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光学薄膜激光损伤阈值测试方法，包括如下步骤：S1、测试得到光学薄膜单脉冲激光损伤时的激光能量密度Fth；S2、使单脉冲激光对光学薄膜进行辐照，记录下光学薄膜表面激光损伤边界不再增大时的激光损伤区域边界坐标(xi,yi)，同时记录下单脉冲激光辐照的次数n；S3、将激光能量密度的高斯分布与激光损伤区域分布对照，得到光学薄膜多脉冲激光辐照损伤时的激光损伤阈值FN；S4、不断改变入射的激光能量密度，重复执行步骤S2、S3，得到不同脉冲数目的飞秒激光辐照下光学薄膜的激光损伤阈值曲线。有益效果是不仅仅保证多脉冲激光辐照下光学薄膜激光损伤阈值测量准确性、同时大大提高多脉冲辐照下光学薄膜损伤阈值的测试效率。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 上海;31 |
| 申请人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 发明人： | 赵元安;马浩;邵建达;李大伟;刘晓凤;邵宇宸;李成;李婷 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-08-06T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-06T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910722421.8 |
| 公开号： | CN110542684A |
| 代理机构： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) |
| 代理人： | 张宁展 |
| 分类号： | G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 201800 上海市嘉定区清河路390号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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