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原文传递真空镊子

专利名称：	真空镊子
摘要：	本发明涉及在半导体制造工艺中传送半导体晶片时所用的真空镊子，它包含具有一个与抽空管道相连接的前表面扁平的壳体和二个从该壳体延长的扁平的延长部）的呈‘Ｙ’形的真空吸头，设于前述真空吸头的扁平的前表面的至少三个吸附部。根据前述的真空镊子，设于真空吸头的扁平的前表面上的至少三个吸附部，提高对晶片的吸附力，另外，该真空吸头具有‘Ｙ’形结构，即使由于吸头弯曲，导致真空状态被破坏，由部分吸附部也能完全吸附半导体晶片。
专利类型：	发明专利
申请人：	三星电子株式会社
发明人：	李敏镐; 赵显祥
专利状态：	有效
申请日期：	1996-05-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN96105164.7
公开号：	CN1152534
代理机构：	中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：	余朦
分类号：	B65G49/07
申请人地址：	韩国京畿道水原市
所属类别：	发明专利