专利名称: | 晶片支承和/或输送机 |
摘要: | 一种晶片支承和/或输送机,包括至少一个设置有多个用于插入晶片边缘的槽的支架,从晶片下部支承插入槽内的晶片,把支架连到传动机构用的第一连接棒;有多个用于插入晶片边缘的槽的至少两个固定棒,从晶片两边的顶固定晶片;把固定棒连到传动机构用的第二连接棒。第一或第二连接棒与支架之间设置的连接板,由此提高机器的稳定性。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | LG半导体株式会社 |
发明人: | 韩石彬 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 1997-12-19T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN97125551.2 |
公开号: | CN1187031 |
代理机构: | 柳沈知识产权律师事务所 |
代理人: | 黄敏 |
分类号: | H01L21/68 |
申请人地址: | 韩国忠清北道 |
所属类别: | 发明专利 |