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原文传递 晶片支承和/或输送机
专利名称: 晶片支承和/或输送机
摘要: 一种晶片支承和/或输送机,包括至少一个设置有多个用于插入晶片边缘的槽的支架,从晶片下部支承插入槽内的晶片,把支架连到传动机构用的第一连接棒;有多个用于插入晶片边缘的槽的至少两个固定棒,从晶片两边的顶固定晶片;把固定棒连到传动机构用的第二连接棒。第一或第二连接棒与支架之间设置的连接板,由此提高机器的稳定性。
专利类型: 发明专利
申请人: LG半导体株式会社
发明人: 韩石彬
专利状态: 有效
申请日期: 1997-12-19T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN97125551.2
公开号: CN1187031
代理机构: 柳沈知识产权律师事务所
代理人: 黄敏
分类号: H01L21/68
申请人地址: 韩国忠清北道
所属类别: 发明专利
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